市场讯息

上海伯东真空产品集成在 OLED 真空系统中
上海伯东代理的进口真空产品目前广泛集成在 OLED 高真空系统中, 以上海伯东客户举例, 真空腔体真空度要求达到 -8 mbar, 高真空系统主要配置:德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 700 + 全量程真空计 PKR 251  + 美国 HVA 6寸真空闸阀.

真空产品主要技术参数如下:

分子泵

HiPace 700

品牌

极限真空 hPa

N2 抽速 l/s

N2 压缩比

最高启动压强mbar

全转速气体流量hPa l/s

电压

德国 Pfeiffer

< 5 X10-10

685

> 1X1011

11(N2)

6.5(N2)

48 ± 5 % V DC

 

全量程真空计

PKR 251

品牌

测量范围

测量精度

烘烤温度

灯丝

密封方式

电压

德国 Pfeiffer

1,000 至 5 X10-9 hPa

10-8 至 102 hPa

 ± 5 %

≤ 150 °C

FPM 密封

15-30 V DC

 

真空闸阀

HVA 6寸

品牌

极限真空
mbar

驱动方式

口径

最小漏率

打开前最大压力

烘烤温度

美国 HVA

1X10-10

气动

DN 160 CF-F

< 2 x 10-9 mbar l/s

≤ 30 mbar

≤150 °C


* 鉴于信息保密,更详细的分子泵应用欢迎致电 021-5046-3511

上海伯东真空产品OLED设备

上海伯东参展 2016 深圳光博展

上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。
上海伯东:叶女士                             台湾伯东:王女士
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