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上海伯东真空产品集成在 OLED 真空系统中
上海伯东代理的进口真空产品目前广泛集成在 OLED 高真空系统中, 以上海伯东客户举例, 真空腔体真空度要求达到 -8 mbar, 高真空系统主要配置:德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 700 + 全量程真空计 PKR 251  + 美国 HVA 6寸真空闸阀.

真空产品主要技术参数如下:

分子泵 HiPace 700	品牌	极限真空 hPa	N2 抽速 l/s	N2 压缩比	最高启动压强mbar	全转速气体流量hPa l/s	电压
	德国 Pfeiffer	< 5 X10-10	685	> 1X1011	11(N2)	6.5(N2)	48 ± 5 % V DC
全量程真空计 PKR 251	品牌	测量范围	测量精度	烘烤温度	灯丝	密封方式	电压
	德国 Pfeiffer	1,000 至 5 X10-9 hPa	10-8 至 102 hPa  ± 5 %	≤ 150 °C	钨	FPM 密封	15-30 V DC
真空闸阀 HVA 6寸	品牌	极限真空 mbar	驱动方式	口径	最小漏率	打开前最大压力	烘烤温度
	美国 HVA	1X10-10	气动	DN 160 CF-F	< 2 x 10-9 mbar l/s	≤ 30 mbar	≤150 °C

* 鉴于信息保密,更详细的分子泵应用欢迎致电 021-5046-3511

上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。
上海伯东：叶女士                             台湾伯东：王女士
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