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上海伯东普发 Pfeiffer 高压缩比分子泵 HiPace H 系列
上海伯东德国 Pfeiffer 高压缩比分子泵 HiPace H 系列, 对小分子量气体有超高的压缩比, 保证了真空腔体内低残余气体背景时, 高和超过的真空度. 普发分子泵 HiPace H 系列特别适合要求高和超高真空的应用, 任意角度安装,易于集成.
分子泵 HiPace H 系列优势
最高压缩比,尤其适合小分子气体
高真空和超高真空应用的理想之选
即使与隔膜泵连接也能达到超高真空度
间断模式能节能 90% 以上, 而性能无任何削减
防护类型 IP54 适合于工业用途
S2 和 UL/CSA 认证
分子泵 HiPace H 技术参数:
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型号 |
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进气法兰 |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF-F |
DN 100 ISO-F |
DN 160 ISO-K |
DN 160 CF-F |
DN 160 ISO-F |
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排气法兰 |
DN 16 ISO-KF / G 1/4" |
DN 16 ISO-KF / G 1/4" |
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排气连接 |
G 1/8" |
G 1/8" |
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Ar 抽速 |
260 l/s |
685 l/s |
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H2 抽速 |
220 l/s |
555 l/s |
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He 抽速 |
255 l/s |
655 l/s |
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N2 抽速 |
255 l/s |
665 l/s |
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转速 ±2% |
60,000 min-1 |
49,200 min-1 |
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运行时间 |
3.5 min |
2 min |
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全转速情况下的N2 流量 |
1.5 hPa l/s |
3.5 hPa l/s |
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全转速情况下的H2 流量 |
10 hPa l/s |
14 hPa l/s |
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全转速情况下的He 流量 |
3.5 hPa l/s |
18 hPa l/s |
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全转速情况下的Ar 流量 |
0.5 hPa l/s |
2 hPa l/s |
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N2 压缩比 |
> 1 X 1013 |
> 1 X 1013 |
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H2 压缩比 |
1 X 107 |
2 X 107 |
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He 压缩比 |
2.5 X 109 |
1 X 109 |
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Ar 压缩比 |
> 1 X 1013 |
> 1 X 1013 |
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N2 最大前级真空 |
30 hPa |
22 hPa |
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H2 最大前级真空 |
15 hPa |
12 hPa |
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He 最大前级真空 |
28 hPa |
25 hPa |
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Ar 最大前级真空 |
25 hPa |
20 hPa |
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极限压力 |
< 1 X10-7 hPa |
< 1 X10-10 hPa |
< 1 X10-7 hPa |
< 1 X10-7 hPa |
< 1 X10-10 hPa |
< 1 X10-7 hPa |
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