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上海伯东美国 HVA 真空插板阀在半导体管道中的应用
半导体后端工艺制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊气体, 气体管路系统 ( 真空管路 ) 的作用是把各种气体在满足工艺制程要求的纯度, 压力和流量的前提下安全稳定的供应到工艺设备内. 上海伯东美国 HVA 插板阀广泛用于高真空或超高真空的气体输送环节, 用来改变气流方向, 调节气流量大小, 切断或接通管路, 起到真空隔离密封等作用. 美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中!
半导体管道插板阀应用示意图 现场图
为什么选择伯东?
伯东公司成立于1953 年,超过65年历史.
上海伯东所有产品保证100%原装进口, 拥有强大售后服务团队, 拥有完全的拆解, 维修, 校正能力并提供24小时在线服务.
上海伯东是美国 HVA 插板阀在中国地区唯一指定总代理商.
上海伯东美国 HVA 插板阀优势
1. 满足高真空（1E10-9 mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）应用
2. HVA 插板阀口径 DN 16 至 800 mm
3. 坚固耐用, 超长使用寿命, 可达 1,000,000 启动次数
4. 清洁和高密封性保证 HVA 插板阀与前级泵, 涡轮分子泵等完美联用
5. 双向密封,最小漏率 < 2x10-9 mbar l/S
6. 可选择驱动方式多, 手, 气,电动可选
7. 有效保护分子泵. 气动和电动插板阀均带信号反馈装置, 与分子泵和腔体连用时可以起到截断一些特殊气体, 保护分子泵的作用
8. 标准或定制法兰满足不同应用
9. 国际标准, 插板阀整机美国设计, 制造, 组装, 原装进口
美国 HVA 超过 40年的阀门研发生产经验, 与友厂对比, HVA 插板阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能.
美国 HVA 插板阀主要型号
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上海伯东是德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作！
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