应用讯息

上海伯东客户某生产光学镜片公司采购美国 KRI 考夫曼公司大尺寸霍尔离子源 EH 2000 加装于电子束镀膜机用于望远镜用金属零部件 IBAD 辅助镀膜!

上海伯东电子束镀膜机加装离子源典型案例: 根据客户 Φ1.2m 镀膜腔体尺寸, 基材尺寸和工艺条件, 推荐选用霍尔离子源 eh2000 HC, 配置中空阴极, 中和器, 自动控制器
1. 设备: Φ1.2m 电子束镀膜机.
2. 基材:望远镜用零部件, 镀铝 Al, 最外层镀一层二氧化硅 SiO2, 做为保护膜
3. 加装霍尔离子源: eh2000HC, 通氧气
3. 离子源条件: Vb:120V ( 离子束阳极电压 ), Ib:14A ( 离子束阳极电流 ), O2 gas:45sccm( 氧气 ).
4. 离子源应用: 望远镜用零部件镀金属膜
电子束镀膜机加装离子源腔体内中的霍尔离子源 eh2000HC                                   通氧气 O2               霍尔离子源 eh2000HC 自动控制器
 

KRI 霍尔离子源

美国 KRI 霍尔离子源 eh2000HC 主要技术规格
尺寸: 直径= 5.7“ 高= 4”
放电电压 / 电流: 50-250V / 15A
可通气体: Ar, O2, N2,H2
离子束发散角度:> 45° (hwhm)
水冷

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项成果. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

上海伯东代理德国 Pfeiffer 全系列真空产品, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 HVA 高真空闸阀, 美国 inTEST 高低温测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备, 日本 NS 离子蚀刻机等.
氦质谱检漏仪,分子泵,真空闸阀,离子源
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解霍尔离子源, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
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