干式真空泵 A 100 L,A 200 L
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干式真空泵 A 100 L,A 200 L

干式真空泵 A 100 L-A 200 L
上海伯东销售维修 Pfeiffer 干式真空泵(多级罗茨泵)A 100 L-A 200 L,用于洁净制程的整体式干泵,紧凑设计,大抽速,低能耗,满足半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求,是load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺的完美解决方案。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L排除了泵安装中的真空管路影响,通过使用 Pfeiffer 整体式干泵,可降低真空管路安装、集成和调试的成本。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L高可靠性和长期稳定性使其脱颖而出,现已广泛应用于全世界范围内的 300 mm 半导体工厂。

干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时,提供干燥无尘的洁净真空,适合在无尘室中使用,整体式干泵也为太阳能光电设备提供最佳解决方案。低噪音和低振动是该水冷型干泵的其他优势,小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性,是各大设备厂商首选。

干式真空泵 A 200 L是针对高气流量应用的全新解决方案,抽速200 m3/h,再次展示出了其在整体式干泵市场中全球领导地位。

上海伯东 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要优点
高气流量,大抽速
结构紧凑,占地面积小
易于集成,运行成本低
低噪音和低震动,无油无尘
即插即用系统:集成型监察装置
干式真空泵 RS232 / RS485 接口可选

Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 应用行业
Load-lock 和传送腔
半导体生产
光伏
工业(低温,气体制造,激光源)
分析仪(用于电子显微术或表面分析的闸室)

Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技术参数

型号

进气口尺寸 DN

极限压力 hPa

抽速

噪音比

重量

m3/h

dB (A)

kg

A 100 L

50

6.6 X 10-3

100

58

100

A 100L ES

50

7 X 10-4

100

55

100

A 200 L

50

8 X 10-3

200

58

100

L:标准版本    ES:节能版本

干式真空泵 A 100 L 标准版本
冷却水循环,在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型号:
A 100 L 标准版本,低电压,16 针 I/O
A 100 L 标准版本,低电压,19 针 I/O
A 100 L 标准版本,低电压,RS232/485 接口,16 针 I/O
A 100 L 标准版本,低电压,RS232/485 接口,19 针 I/O
A 100 L 标准版本,高电压,16 针 I/O
A 100 L 标准版本,高电压,19 针 I/O
A 100 L 标准版本,高电压,RS232/485 接口,16 针 I/O
A 100 L 标准版本,高电压,RS232/485 接口,19 针 I/O

A 100 L ES 节能版本
紧凑型干泵集成节能模块,有效减少了 50% 的耗电量。冷却水循环,在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。  

主要在售型号:
A 100 L ES 节能版本,低电压,16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本,低电压,19 针 I/O
A 100 L ES 节能版本,低电压,RS232/485 接口,16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本,低电压,RS232/485 接口,19 针 I/O
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速图
干式真空泵

Pfeiffer 干式真空泵 ACP:上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer 指定销售维修中心,我司是国内最早代理 Pfeiffer 产品的公司,100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。

 

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