磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M
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磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M

上海伯东德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M:抽速范围在1400-2800l/s的磁悬浮涡轮分子泵。ATH 系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性,同时运行时也非常安静。磁悬浮涡轮分子泵 ATH 系列广泛应用于半导体、镀膜和离子刻蚀等行业。

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200MATP 2300M 优点
1.清洁无油,大抽速
2.免维护低成本保养费
3.涡轮分子泵极低的噪音和震动
4.可任意角度安装


Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200MATP 2300M 技术参数::

分子泵型号

分子泵连接尺寸 DN

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强hPa

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动时间

重量

进气口

排气口

氮气
N2

氦气He

氢气 H2

氮气
N2

氮气N2

hPa

氮气N2

min

kg

ATH 1603 M

ATH 1600 MT

250

40

1,400

970

540

> 1X108

1.7

< 6X10–9

67

6

42

ATH 2303 M

ATH 2300 MT

250

40

2,150

1,800

1,100

> 1X108

2.9

< 6X10–9

67

8

68

ATH 2800 M

ATH 2800 MT

250

40

2,200

2,400

1,550

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATH 3200 M

ATH 3200 MT

320

40

2,800

2,500

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

84

10

93

ATP 2300 M

320

40

1,950

2,050

1,700

> 1X108

2.1

< 6X10–9

37

8

60

MT型号的分子泵配有集成加热带可以进行温度控制。其自带加热系统和水冷系统同时作用,可以确保泵的工作温度相对恒定(最高工作温度75°C),同时最小化过程化学物或副产物在泵体内因冷凝而产生的沉积。
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M,ATP 2300M

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