全磁浮涡轮分子泵

上海伯东 Adixen by Pfeiffer Vacuum 真空产品授权代理商,代理 Pfeiffer 真空产品20年.可协助客户选型并提供完善的售后维修服务.Adixen 明星产品氦质谱检漏仪,全磁浮涡轮分子泵,旋片真空泵,干式真空泵等广泛应用于真空检漏,半导体,工业,科研等行业

全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M

全磁浮涡轮分子泵  ATH 500 M 技术参数:

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

50000 min-1

对氮气的压缩比

> 2 · 107

最大进气压力N2

2.6 hPa

对氮气的抽速

350 l/s--550 l/s

启动时间

< 2 min

极限真空度

< 1 · 10-8 hPa

重量

17 kg-18kg

 

全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT

全磁浮涡轮分子泵  ATH 1600 MT 技术参数: 

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

39000 min-1

对氮气的压缩比

> 1 · 10 8

最大进气压力N2

2.2 hPa

对氮气的抽速

1360 l/s--1600 l/s

启动时间

< 6 min

极限真空度

< 6 · 10-9 hPa

重量

34 (分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg

 

全磁浮涡轮分子泵 ATH 1603 M

全磁浮涡轮分子泵  ATH 1603 M 技术参数:

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

39000 min-1

对氮气的压缩比

> 1 · 10 8

最大进气压力N2

1.7 hPa

对氮气的抽速

1400 l/s--1600 l/s

启动时间

< 6 min

极限真空度

< 6 · 10-9 hPa

重量

34 (分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg

 

全磁浮涡轮分子泵 ATH 2300 M

全磁浮涡轮分子泵  ATH 2303 M 技术参数:

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

31000 min-1

对氮气的压缩比

> 1 · 10 8

最大进气压力N2

2.9 hPa

对氮气的抽速

2150 l/s--2303 l/s

启动时间

< 8 min

极限真空度

< 6 · 10-9 hPa

重量

60 (分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg

 

全磁浮涡轮分子泵 ATH 2800 M

全磁浮涡轮分子泵  ATH 2800 M 技术参数:

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

25000 min-1

对氮气的压缩比

> 1 · 10 8

最大进气压力N2

2.1 hPa

对氮气的抽速

2200 l/s

启动时间

< 10 min

极限真空度

< 6 · 10-9 hPa

重量

85(分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg

 

全磁浮涡轮分子泵 ATH 3200 M

全磁浮涡轮分子泵  ATH 3200 M 技术参数:

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

25000 min-1

对氮气的压缩比

> 1 · 10 8

最大进气压力N2

2.1 hPa

对氮气的抽速

2800 l/s

启动时间

< 10 min

极限真空度

< 6 · 10-9 hPa

重量

85(分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg

 

全磁浮涡轮分子泵 ATP 2300 M

全磁浮涡轮分子泵  ATP 2300 M 技术参数:

轴承

五轴控制全磁浮轴承

转速

31000 min-1

对氮气的压缩比

> 1 · 10 8

最大进气压力N2

2.1 hPa

对氮气的抽速

2050 l/s

启动时间

< 8 min

极限真空度

< 6 · 10-9 hPa

重量

52(分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg

 

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