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上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340 光学镀膜机检漏
上海伯东某客户从事树脂镜片的研发, 生产和销售, 经过伯东推荐, 采用德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 对其生产设备 - 精密光学镀膜机进行检漏. 真空模式下, 漏率要求达到 1X10^-7 mbar l/s, 保证光学镀膜机在生产过程中的密封性.

光学镀膜机检漏方法: 采用氦质谱检漏仪真空模式, 漏率设置为 1X10^-7 mbar l/s, 主要对真空室和连接管路进行检漏, 通常真空室内漏气都是从室壁上的一些接口或部件之间的焊缝中发生, 当抽气系统抽气后使真空室内压强降低, 外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内, 形成真空度降低. 真空度的降低则会降低光学镜片的合格率.

检漏仪通过波纹管, 与镀膜机背部预留的接口连接, 启动检漏仪, 设置好漏率, 在怀疑有漏的地方喷氦气
 

氦质谱检漏仪 ASM 340 主要参数 进气口: DN 25 ISO-KF 对氦气 4He 的最小检测漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸枪模式: 5X10-9 mbar l/s 检测模式: 真空模式 (负压) 和吸枪模式 (正压) 对氦气的抽气速度: 2.5 l/s 进气口最大压力: 25 mbar 前级泵抽速: 油泵 15 m3/h 重量: 56 kg

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