涡轮分子泵 HiPace 1200
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涡轮分子泵 HiPace 1200

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可达 1250 l/s 的高性能涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 通过控制器, 监控运算数据保证分子泵的最大安全性. 涡轮分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 涡轮分子泵 HiPace 1200 通讯接口 RS-485, 远程遥控(Profibus/DeviceNet 备询), 多种配件供客户选择.

涡轮分子泵 HiPace 1200 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
运行数据监控形成的最高运行安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200 技术规格

 型号

HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-K

HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-F

HiPace 1200 TC 1200
DN 200 CF-F

 Ar 压缩比

>1X108

>1X108

>1X108

 H2 压缩比

6X103

6X103

6X103

 He 压缩比

2X104

2X104

2X104

 N2  压缩比

>1X108

>1X108

>1X108

最大预抽真空, N2 hPa

2

2

2

 Ar全转速时气体流量hPa l/s

11

11

6

 H2 全转速时气体流量hPa l/s

>30

>30

>30

 He全转速时气体流量hPa l/s

>30

>30

16

 N2 全转速时气体流量hPa l/s

20

20

16

 操作电压 V AC

100-120 / 200-240

100-120 / 200-240

100-120 / 200-240

最大电流 A

10

10

10

 允许最大磁场 mT

6

6

6

 Ar抽速l/s

1200

1200

1200

 H2 抽速l/s

1100

1100

1100

 He 抽速 l/s

1300

1300

1300

 N2 抽速l/s

1250

1250

1250

 转速 ± 2 % rpm

37800

37800

37800

 启动时间 min

2.5

2.5

2.5

 极限真空 hPa

1X10-7

1X10-7

5X10-10

 重量 kg

29.5

30.5

40.9


涡轮分子泵 HiPace1200 抽速

涡轮分子泵 HIPace1200 尺寸图

标准款涡轮分子泵 HiPace 1200 在售型号
高工艺适用性, 防止进入颗粒

进气口

分子泵控制器

I/O接口

集成电源包

资料下载

DN 200 ISO-K

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 200 ISO-F

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 200 CF-F

另配 TCP 1200

TCP 1200

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

-

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涡轮分子泵 HiPace 1200 U 在售型号
安装位置:高架 (90°-180°)

进气口

分子泵控制器

I/O接口

集成电源包

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

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DN 200 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

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DN 200 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

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耐腐蚀涡轮分子泵 HiPace 1200 C 在售型号
专为腐蚀性气体而设计, 带有附有涂层转子和耐腐蚀性气体的工作流体, 非常适用于腐蚀性气体应用

进气口

分子泵控制器

I/O接口

集成电源包

资料下载

DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程

-

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

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DN 200 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

-

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DN 200 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

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DN 200 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

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耐腐蚀, 90°-180°安装位置涡轮分子泵 HiPace 1200 UC 在售型号
耐腐蚀,安装位置:高架 (90°-180°)

进气口

分子泵控制器

I/O接口

集成电源包

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程

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DN 200 ISO-K

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

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DN 200 ISO-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

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DN 200 CF-F

TC 1200

RS-485, 远程, Profibus

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DN 200 ISO-K

TC 1200

E74, RS-485

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DN 200 ISO-F

TC 1200

E74, RS-485

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DN 200 CF-F

TC 1200

E74, RS-485

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分子泵应用 HiPace 1200:
镀膜: LED, 光伏, 硬盘镀膜, 硬质涂层, 卷绕镀膜, 光学镀膜, CD / DVD / PVD
工业: 医学技术, 电子束焊接, 隔离真空, 灯管制造
研发: 聚变研究,  等离子研究, 模拟空间站, 基本粒子物理学, 生物技术
半导体: PVD, CVD, Beamline, MBE

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若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400 
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