氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
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氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏

氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
上海伯东客户某专门生产半导体配管配件工程公司, 定制高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同口径的管路进行焊接, 因半导体行业的苛刻使用要求, 配管配件漏率值需要达到 <1E-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作并进行快速的泄露测试, 经过上海伯东推荐最终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 和 ASM 392!

氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
上海伯东半导体用配管配件氦质谱检漏方法:
考虑到管路衔接长, 需要满足客户快速的检漏要求, 上海伯东德国 Pfeiffer ASM 390 针对此类应用提供大漏模式: 定性泄漏检测从 100 mbar 到 20 mbar 开始 (进入测试模式之前) 此一区间即可进行检漏, 快速缩短检漏时间!
氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
检漏配置: 氦质谱检漏仪 ASM 390,客制转接头和配套密封件一套,喷枪和配套氦气瓶一套
检漏方法:根据配管实际使用工况,采用检漏仪真空模式进行检漏,设置漏率值 1E-9mar l/s, 首先对焊接的单个配管进行检漏, 配管组装完成后, 对整个管线再次进行检漏. 按照下图组装样品, 在怀疑有漏的地方喷氦气(一般需要检漏的部位是焊缝或连接处), 如果有漏, 检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.

1. 将制作好的各种管件加工焊接, 然后通过波纹管连接至氦气检漏仪 ASM 390 进行检漏
氦质谱检漏仪波纹管检漏
2. 配管组装完成后, 对整个管线再次进行检漏

氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
3.测试各个管路时, 可依照客户需求将数据记录储存 (并可储存至计算机内)
氦质谱检漏仪ASM390

结论: 经过实际测试, 无论单个管径是 6’, 8’ 或 10’, 长度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以内达到客户检漏底压需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又精准, 大大提升了工作效率!
氦质谱检漏仪
到现场配管完成后检漏, 所有管件组装后, 总长度达几十米, 与之前的检漏时间, 工程花费时间可能趋近于一天, 但选用上海伯东 Pfeiffer ASM 390, 在整体抽校与检漏时间上, 几乎缩短了一倍时间!

上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 技术参数

型号

ASM 390

ASM 392

检测气体

4He, 3He, H2

最小检测漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s

对氦气的抽速

10 l/s

25 l/s, 内置2台分子泵

前级泵抽速

35 m3/h

进气口最大压力

20 mbar

20 mbar

无校准的启动时间(20°C)

2 min

进气口

DN 40 ISO-KF

响应时间

< 1 s

Interface,  选配

RS-232, I/O, Ethernet

重量

125 kg

130 kg

氦质谱检漏仪ASM390

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>

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上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
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