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伯东Pfeiffer分子泵应用于电子束蒸发镀膜系统
上海伯东德国 Pfeiffer 分子泵成功应用于电子束蒸发镀膜系统。电子束蒸发是真空蒸镀的一种方式，它是在钨丝蒸发的基础上发展起来。电子束是一种高速的电子流。电子束蒸发是目前真空镀膜技术中一种成熟且主要的镀膜方法，它解决了电阻加热方式中膜料与蒸镀源材料直接接触容易互混的问题。
电子束蒸发法是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法。常见于半导体科研工业领域。利用加速后的电子能量打击材料标靶，使材料标靶蒸发升腾。最终沉积到目标上。伯东Pfeiffer涡轮分子泵凭借超长使用时间,清洁无油,易维护等优点成功应用于电子束蒸发镀膜系统。电子束蒸发广泛应用于家电电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。
上海伯东客户案例：某大学微电子学系 电子束蒸发镀膜系统
1.系统功能：生长半导体材料，金属膜，Mn氧化物膜。
2.真空度要求：5x10-7 mbar
3.基片尺寸：≤Ф12英寸
4.电子枪功率：5-10KW
5.衬底温度：350℃
6.温度均匀性：±10℃
7.样平台转速：≤20r/min
8.坩埚数量：4
9.镀膜均匀性：±5%（Al）
10.控制系统：PC+PLC全自动控制
该电子束蒸发镀膜系统配置上海伯东 Pfeiffer 分子泵:
1.分子泵 Hipace 2300*2
2.真空计 PKR 251*2+TPG 261*2
