HVA 真空闸阀 真空插板阀 81000 系列
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HVA 真空闸阀 真空插板阀 81000 系列

HVA 真空闸阀 真空插板阀81000系列
上海伯东美国 HVA 超高真空闸阀 81000 系列, 阀门主体材质铝, 适用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤温度不超过 150°C 的高真空应用. HVA 真空闸阀 81000系列专为系统集成设计研发, 广泛应用于半导体, 太阳能, LED / FPD, 涂料, 镀膜和生物制药.

HVA真空闸阀 81000系列 产品性能:
1. 真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性, 有效消除了虚漏和缺陷部分, 避免阀体变形
2. 比同等口径的不锈钢阀门氢气脱气率低
3. 适用寿命长: 400,000启闭次数
4. 高性能 PEEK 组件
HVA 真空闸阀 81000系列 技术参数:

阀门材质:

阀门主体

6061-T6铝

轴封

[DN40-80] 铝; [DN100-500] 304SS

支架

6061-T6/ PEEK

密封件

氟橡胶

阀门密封方式:

高真空

氟橡胶

漏率

<2×10-9 mbar l/s

差压关闭

1 bar

真空:

压力范围

高真空1x10-7 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差压关闭

1.6 bar (任意位置)

开启前最大压力

≤ 30 mbar

烘烤温度(不含电磁阀):

阀门主体

120 °c

驱动方式

80 °c

使用寿命:400,000启闭次数

公称通径:DN100-320 mm

美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商, 美国HVA原装进口真空阀门, 超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造. 主营高真空闸阀, 高真空角阀广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商
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