HVA 高真空闸阀应用于 OLED 镀膜机
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HVA 高真空闸阀应用于 OLED 镀膜机

HVA 高真空闸阀应用于 OLED 镀膜机
OLED 镀膜机主要面向有机半导体照明客户, 需要镀膜机性能更稳定, 器件效率更高, 性价比高,

HVA 高真空闸阀应用
一般科研用镀膜机的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求达到 5*10-7mbar 或 5*10-8mbar, 这时需要配置分子泵系统或低温泵系统来实现高真空度的需求, 所以对于生产 OLED 镀膜机的客户, 为了节省抽空时间和防止基片的污染, 会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样, 由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.

有时科研设备并不配置 LOADLOCK, 但出于泵组快速抽空或方便检修要求, 还是会根据分子泵的进气口径来配置高真空阀门隔离系统. 上海伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机
超高真空闸阀
上图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 高真空闸阀, 我司根据镀膜系统的自动化要求, 配置 HVA 11000 系列尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,
 

上海伯东美国 HVA 高真空闸阀 11000 系列产品

HVA

 阀门材质:

 - 阀门主体

 304 不锈钢

 - 焊接波纹管轴封

 AM - 350

 阀门密封方式

 - 高真空

 氟橡胶

 - 超高真空

 铜垫圈 / 氟橡胶

 真空:

 - 压力范围

 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差压关闭

 1 bar ( 任意位置 )

 - 开启前最大压力

 ≤ 30 mbar

 烘烤温度(不含电磁阀):

 - 佛橡胶密封

 150 °c, 可选配置最大 250 °c

 - 铜垫圈密封

 阀门关闭 200 °c, 阀门打开 150 °c

 - 驱动方式

 手动 60 °c, 气动 60 °c

 - 气体

 80 psig (5.5 bar)

 - 电磁

 4.0 Watts

 - 供电

 120 VAC 50 /60 Hz

 - 可选电压

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 - 位置指示器,最大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

 使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

 公称通径: DN 16 - 800 mm


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