涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD
阅读数: 160

涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD

涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD
脉冲激光沉积系统 PLD 可用来制备金属和各种物质薄膜, 甚至还用来制备一些难以合成的材料膜. 为了提高 PLD 系统的真空度和加快抽空时间, 经过伯东推荐选用分子泵+分子泵组串联组合的形式来提高系统的真空度. 更快达到其使用要求.

涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD 客户案例一: 上海伯东某客户选用美国相干 Coherent 公司出产的 COMPexPro205 型 KrF 激光器, 用于原位生长不同材料的多层薄膜. 通过伯东推荐采购 2台涡轮分子泵组 Hicube 80 Eco
涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD
涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD 客户案例二: 某大学采购铠柏科技 Adnano PLD 系统, 使用伯东 Pfeiffer 分子泵和涡轮分子泵组.
涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD
上海伯东德国 Pfeiffer HiCube 80 便携式分子泵组, 可以有效提供原有的真空度水平至半个数量级或加快抽空时间!
上海伯东 Pfeiffer 分子泵组 HiCube Eco 技术规格

泵组型号

进气法兰

分子泵
型号

抽速
氮气l/s

极限真空
 hPa

前级泵型号

前级泵
抽速 m³/h

Hicube 80 Eco

DN 40 ISO-KF

HiPace 80

35

1X10-7

MVP 015-2

0.5

DN 63 CF-F

HiPace 80

67

1X10-8

MVP 015-2

1

DN 63 ISO-K

HiPace 80

67

1X10-7

MVP 015-2

1


Pfeiffer 涡轮分子泵组整体模块化设计, 内部集成前级泵和分子泵, "即插即用", 抽速范围 35 至 685 L/S, 极限真空 5X10-10 hPa, 提供经济型分子泵组 ECO, 标准型分子泵组 Classic 高性能涡轮分子泵组 Pro 满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 真空计共同使用.

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶女士                                  台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                           F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267                        M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                          ec@hakuto.com.tw

其他产品