氦质谱检漏仪 PECVD 检漏
阅读数: 1588

氦质谱检漏仪 PECVD 检漏

氦质谱检漏仪 PECVD 检漏
上海伯东代理德国 Pfeiffer 多功能多用途氦质谱检漏仪 ASM 340 成功应用于中科院某研究所 PECVD 检漏。

PECVD:( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 等离子体增强化学气相沉积法 )是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种 CVD 称为等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)。
氦质谱检漏仪 PECVD 检漏
PECVD 检漏原因PECVD 工作环境需要两个必要条件:低温和真空。可以通过上海伯东德国 Pfeiffer 机械泵 Pfeiffer DUO 20 和分子泵 Hipace 1200 联用获得稳定的高真空。由于 PECVD 结构复杂,组成部分较多,各组件通过各种法兰接口连接,当长时间运行时可能造成接口或管路松动,导致真空度抽不下来,影响沉积薄膜的质量,这时就需要通过检漏来排查漏点。常规的检漏如涂肥皂水等方法,耗时耗力且精度低,容易受操作人员干扰,所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用。
PECVD 检漏方法
PECVD 检漏方法:采用检漏仪的真空法进行检漏,对怀疑有漏的地方喷氦气,如果检漏仪报警,则表明此处有漏!上海伯东客户中科院某研究所目前现有多台旧款 Adixen ASM 142 检漏仪,因为设备增加,在经过工程师推荐后采购检漏仪 ASM 340。
* 鉴于信息保密,更详细的 PECVD 检漏方法,欢迎拨打客服热线:021-5046-3511

若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
上海伯东:叶女士                             台湾伯东:王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                      F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267                   M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                   ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-vacuum.cn                 www.hakuto-vacuum.com.tw
上海伯东版权所有,翻拷必究!

 

其他产品