涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300
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涡轮分子泵 HiPace® 1200-2300

涡轮分子泵 Hipace 1200-2300
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 1200-2300,抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, HiPace 1200 - 2300系列涡轮分子泵可以倒置安装。对小分子量气体(H2, He)和大分子量气体(Ar, CF4)都有很高的抽速。

分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 产品优点:
1.抽速从 1200-2300 l/s 的全系列产品
2.安装角度可选 0°-90° 和 90°-180°
3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5.电压范围 90 - 265 V
6.获得 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV认证
7.防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
8.适用于各种严苛工艺如刻蚀,溅镀,分子泵耐粉尘
9.集成分子泵控制器 TC 1200,可直接连接一般电源

分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 技术参数

分子泵型号

分子泵连接尺寸 DN

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强hPa

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动时间

重量

进气口

排气口

氮气
N2

氦气He

氢气 H2

氮气
N2

氮气N2

hPa

氮气N2

min

kg

HiPace® 1200

200

40

1,250

1,300

1,100

> 1X108

2

< 1X10–7

20

2.5

27 – 40

HiPace® 1500

250

40

1,400

1,350

1,150

> 1X108

2

< 1X10–7

20

2.5

29 – 41

HiPace® 1800

200

40

1,450

1,650

1,700

> 1X108

1.8

< 1X10–7

20

4

33 – 34

HiPace® 2300

250

40

1,900

2,000

1,850

> 1X108

1.8

< 1X10–7

20

4

34 – 47

C = 抗腐蚀性气体
T = 温控管理

分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 应用领域:
1. 分析仪器 2. 半导体 3. 镀膜 4. 工业  5. 研发

分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1200, DN 200 CF-F


分子泵 HiPace™ 1200, pumping speed


分子泵 HiPace™ 1500, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1500, DN 200 CF-F


分子泵 HiPace™ 1500, pumping speed


分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 1800, DN 250 ISO-F


分子泵 HiPace™ 1800, pumping speed


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-K


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 ISO-F


分子泵 HiPace™ 2300, DN 250 CF-F


分子泵 HiPace™ 2300, pumping speed,

 

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