涡轮分子泵应用于超高真空互联装置
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涡轮分子泵应用于超高真空互联装置

涡轮分子泵应用于超高真空互联装置
超高真空互联系统一般是通过 RDC 传样装置将不同的超高真空腔体连接起来, 例如: 快速进样室, 样品生长腔, 衬底制备腔, 电子结构分析腔等, 传样过程中保证超高真空量级的真空增量, 超高真空互联系统最多可以连接 8个腔体左右, 极限真空好于 1E-10mbar!

超高真空互联装置需要在超高真空环境中进行, 对真空度要求及其高, 真空可达 1E-10mbar,一般需要用前级泵, 分子泵, 离子泵, 钛泵等组合使用来达到要求, 涡轮分子泵需要低振动, 低噪音, 清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶格的生长和后期的探测分析. 上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80, HiPace 300, HiPace 700, HiPace 1200 广泛应用于超高真空互联装置中!

超高真空互联系统会以 ARPES, STM, MBE, UPS, XPS 的联用为主.下图为上海伯东某研发生产各类高真空系统客户实例图:
涡轮分子泵应用于超高真空互联装置
1. ARPES 角分辨光电子能谱, 利用光电效应研究固体的电子结构, 当一束光照射在样品表面,当入射光频率高于特定阈值 (功函数)时, 表面附近的电子会脱离样品, 成为自由电子, 这就是光电效应. 光电子在真空飞行的过程中, 被一个接受角度很小的能量分析器收集计数.

上海伯东 ARPES 光束线客户案例: 某光源 ARPES 光束线真空系统, 真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分, 只有在真空环境中运行, 光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站, 真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度, 保证光束线的稳定运行. 此系统搭配伯东 Pfeiffer 分子泵 HiPace 80, Hipace 300 及配套真空规.
涡轮分子泵应用于 ARPES 角分辨光电子能谱

2. 分子束外延 MBE 是一种晶体生长技术, 首先将待成长的芯片放置在超高真空腔体中(~10-10Torr), 和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中, 当炉温升至一定温度时, 炉中的材料会以原子束或分子束的形式蒸发出来, 此时基板也被加热至一适当的温度, 分子束射至基板时, 就会与基板表面的原子结合而生长出极薄的, 可薄至单原子层水平, 单晶体和几种物质交替的超晶格结构.

3. 扫描隧道显微镜 STM 是根据量子力学中的隧道效应原理, 通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.

上海伯东 MBE STM 联用客户案例: 某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统, 经过伯东推荐, 采用 Pfeiffer 分子泵 HiPace 300涡轮分子泵 HiPace 80 并搭配美国 HVA 真空闸阀成功分析生长晶体表面结构
涡轮分子泵

Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 更多分子泵典型应用 >>

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