Thermonics 超低温冰水机
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Thermonics 超低温冰水机

Thermonics 超低温冰水机
上海伯东美国 inTEST 旗下 Thermonics® 超低温冰水机, 可以匹配各种热交换液体媒介, 提供低温极限 -80°C, -60°C, -40°C 共计 18种标准机型, 低温冰水机单级压缩机, 级联冷却, 冷凝器水冷或风冷; 可编程的触摸屏, 支持远程通讯. 低温冰水机方便移动操作, 满足高容量的制冷需求, 适用于汽车, 能源, 工业化学, 半导体等行业.

Thermonics 超低温冰水机: 精密温度控制, 适用于半导体前端和后端的应用, 例如半导体刻蚀设备降温
. 最高冷却功率 15 kW
. 温度范围:  -80 至 200 °C
. 适合各种热交换流体
. 风冷和水冷模式
. 导热流体压力和流量控制
. ISO 9001 和 ITAR 认证
. 可编程的触摸屏
低温工艺流体冰水机
Thermonics 超低温冰水机, 风冷型

型号

温度范围
°C

精度
°C

冷却能力 kW @ 20°C 供水

泵抽速
l/min

资料下载

25

0

-20

-40

-45

-60

-70

-80

A-40-1100

-40 至 +50

±0.5

6.6

6.6

4.0

1.1

0.5

-

-

-

15

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A-40-1900

-40 至 +50

±0.5

9.5

9.5

5.4

1.9

0.7

-

-

-

23

下载 PDF

A-40-2700

-40 至 +50

±0.5

14.5

14.5

9.6

2.7

1.2

-

-

-

38

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A-60-2700

-60 至 +50

±0.5

3.9

3.9

3.6

3.1

3.0

2.7

-

-

11

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A-60-3000

-60 至 +50

±0.5

4.6

4.6

3.7

3.5

3.4

3.0

-

-

23

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A-60-4600

-60 至 +50

±0.5

6.7

6.7

6.1

5.3

5.1

4.6

-

-

30

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A-80-500

-80 至 +50

±0.5

2.3

2.3

2.2

2.1

2.0

1.8

1.5

0.5

11

下载 PDF

A-80-1700

-80 至 +50

±0.5

3.4

3.5

3.1

2.8

2.7

2.3

2.1

1.7

23

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A-80-2400

-80 至 +50

±0.5

5.0

5.1

4.5

3.9

3.8

3.3

3.1

2.4

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Thermonics 超低温冰水机, 水冷型

型号

温度范围
°C

精度
°C

冷却能力 kW @ 20°C 供水

泵抽速
l/min

资料下载

25

0

-20

-40

-45

-60

-70

-80

W-40-1100

-40 至 +50

±0.5

8.0

8.0

4.6

1.1

0.6

-

-

-

15

下载 PDF

W-40-2000

-40 至 +50

±0.5

10.0

10.0

6.0

2.0

1.0

-

-

-

23

下载 PDF

W-40-3100

-40 至 +50

±0.5

15.5

15.5

10.0

3.1

1.4

-

-

-

38

下载 PDF

W-60-2800

-60 至 +50

±0.5

4.0

4.0

3.7

3.2

3.1

2.8

-

-

11

下载 PDF

W-60-3100

-60 至 +50

±0.5

4.7

4.7

4.3

3.7

3.6

3.1

1.1

-

23

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W-60-4700

-60 至 +50

±0.5

6.8

6.8

6.2

5.4

5.2

4.7

4.0

-

30

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W-80-600

-80 至 +50

±0.5

2.5

2.5

2.3

2.1

2.0

1.8

1.6

0.6

11

下载 PDF

W-80-1800

-80 至 +50

±0.5

3.5

3.5

3.2

2.9

2.8

2.4

2.2

1.8

23

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W-80-2500

-80 至 +50

±0.5

5.1

5.1

4.5

4.0

3.9

3.4

3.2

2.5

30

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* 所有水冷和风冷型号液体压力是 50 PSIG 或更少
* -40 和-60°C 的低温性能使用 Syltherm XLT 热传导液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 热传导液
* 如果需要使用其他类型热传导液或流速, 请联络上海伯东

Thermonics 超低温冰水机典型应用
1. 半导体行业: 在离子注入机中冷却硅片夹
2. 燃料电池能源: 低温冷却进入储罐的废气, 从废气中冷凝和分离二氧化碳
3. 科研领域: 在一个压力容器中, 加热和冷却铜块

Thermonics® 制冷机主要应用于能源, 化学工艺, 工业和半导体制造, 例如如下:

制冷机类型

冷却方式

Max.Capacity

温度范围

导热介质

应用市场

传导液制冷
双极

水冷

5kW @ -20°C

-40 至 25°C    

Syltherm XLT

化学

传导液制冷
单极

水冷

2.5kW @ -60°C

-60 至 25°C

Syltherm XLT

化学

传导液制冷
单极

风冷

270W @ -50°C

-50 至 120°C

HFE-7500   

半导体

传导液制冷
双极

风冷

300W @ -80°C

-80 至 200°C

Syltherm XLT

国防

传导液制冷
双极

风冷

3KW @ -60°C

-60 至 20°C

KRYO 60 

能源

气体制冷
自然复叠

风冷

-100 °C @ 8 scfm

-100 °C至空气

清洁,干燥空气

工业

传导液制冷
双极

水冷

2.2KW @ 20°C

-50 至 40 °C

HFE-7500

半导体

传导液制冷
单极

水冷

12KW @ 15°C

-15 至 20 °C

PGW (25%)

半导体

气体制冷
自然复叠

风冷

-90°C @ 18scfm

-90 至 225 °C

清洁,干燥空气

汽车

传导液制冷
单极

风冷

1.5 KW @ -30 °C

-40 至 50 °C

Syltherm XLT

工业

传导液制冷
双极

水冷

3.3KW @ -50°C

-50 至 20 °C

Syltherm HF

汽车


Thermonics 低温冰水机原理:
冰水机 chiller
 

Thermonics 超低温冰水机在半导体行业中的应用
前端 Front End
离子注入 Ion Implant
蚀刻设备 Etch: 降温晶圆,
沉积设备 Deposition
后端 Back End
各种测试处理 Final Test Handlers:
举例: Thermonics 冰水机将制冷液体泵入测试设备进行半导体器件的冷态测试, Thermonics 冰水机可与各类半导体测试设备联用.

美国 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机用于冷却工艺过程中的气体和液体. 型号包含低温液体冰水机, 超低温气体冰水机超低温液氮, 液态二氧化碳制冷机. Thermonics 低温冰水机可选水冷或气冷, 并与各种导热液体兼容. 满足各种超低温工艺冷却需求, 广泛应用于化学, 能源, 半导体, 汽车等领域. 上海伯东是美国 Thermonics 超低温冰水机中国总代理. 

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