分子泵 OLED 设备抽真空
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分子泵 OLED 设备抽真空

Pfeiffer 分子泵 OLED设备上的应用
上海伯东为德国 Pfeiffer 普发真空在中国华东、华南地区的指定代理商,于近期成功销售 Pfeiffer HiPace 700 系列分子泵,Penta 35 系列双级旋片真空泵给国内知名专业从事 OLED设备制造商。并且成功替换该公司原先使用的日本低温泵 (Cryo pump)。
OLED:有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode),又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display, OELD)。OLED具有自发光的特性,采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板,当电流通过时,有机材料就会发光,而且OLED显示屏幕可视角度大,并且能够显著节省电能。

客户案例:国内知名专业从事 OLED设备制造商,此款 OLED 设备主要用于科研机构或大学实验之用,基本技术要求如下:

1.  腔体体积: 约 150 L 左右

2.  极限真空度:1 x 10-7 mbar

3.  30 分钟 – 1 小时内达到 5 x 10-5 mbar

4.  Gas: Ar, O2

此类 OLED 生产设备,用加热使材料蒸发的方法,在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜。主要用于有机半导体材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验及 OLED 工艺研究。Pfeiffer Hipace 系列分子泵搭配 Penta 35双级旋片泵是其理想的选择。

 

上海伯东代理的Pfeiffer HiPace 700系列分子泵具有以下这些优点:

1.   模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求

2.   集成可变频驱动(TC 400)及电源供应系统,无需额外的控制

3.   分子泵可提供360°安装方位

4.   标准水冷集成装置

5.   标准的 RS-485 接线,可提供远程控制

6.   可提供防腐蚀特定型号

7.   具有温度传感及控制单元,可保护分子泵的安全可靠运行

8.   业界最高的半导体 Semi S2 及 IP 54 防护等级

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