干式真空泵 A4X 系列
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干式真空泵 A4X 系列

干式真空泵 A4X 系列
上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业,干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求,特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高,有效降低了企业成本。

干式真空泵 A4X 系列核心优势:
耐腐蚀设计,使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
特殊设计,避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀,耐粉尘

干式真空泵 A4X 系列应用
半导体:(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
涂料行业:光伏和 LED

干式真空泵 A4X 系列技术参数:

型号

A 124 H

A 604 H

A 1204 H

A 204 H
A 204 X

A 804 H
A 804 X

A 1504 H
A 1504 X

A 1804 H
A 1804 X

抽速 m3/h

110

560

1150

160

700

1200

1700

极限真空
(氮气吹扫阀关闭) hPa

2X10-2

2X10-4

9X10-4

5X10-2

2X10-3

2X10-3

2X10-3

极限真空
(氮气吹扫阀50 SLM) hPa

5X10-2

6X10-3

6X10-3

2X10-1

9X10-3

9X10-3

9X10-3

全转速最大进气气流 SLM

80

60

55

150

100

100

70

最大功率 KW

1.5

1.9

2.3

1.8

2.2

2.6

2.6

最大排气压力hPa

1200

1200

1200

1200

1200

1200

1200

进气口 ISO-KF

DN 50

DN 100

DN 160

DN 50

DN 100

DN 160

DN 160

重量 kg

250

370

530

260

380

540

540

 

干式真空泵 A4X 系列抽速:
上海伯东干式真空泵 Adixen

上海伯东 Adixen 干式真空泵


 

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