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Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro
上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, Pfeiffer 残余气体分析仪可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 最低可检测分压 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计, 兼容性更强
PV MassSpec软件操作直观, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝, 更长使用寿命
最低可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力
气密离子源型号可选, 适合与进气系统组合使用, 具有低气体消耗和高信噪比的特点.
可通过以太网进行联网
高测量速度, 稳定性, 高分辨率
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
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型号 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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检测器 |
法拉第 Faraday (F) |
电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) |
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质量数 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四极杆直径/长度 |
6 / 125 mm |
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最小检测极限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小检测极限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最大工作压力 F hPa |
5X10-4 |
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最大工作压力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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对临近质量数的影响*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作温度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作温度 电子 |
5 – 50 °C |
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烘烤温度 分析 |
300 °C (移除电子模块) |
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分辨率 |
1 ms - 16 s/amu (10% 峰高) |
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连接法兰 |
DN 40 CF-F |
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保压时间 |
1 ms – 16 s/amu |
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重量 |
2.5 kg |
3.2 kg |
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* 1 开放式离子源
* 2 停留时间 4秒
*3 与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口:

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 可扩展的通讯接口:
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Pfeiffer 残余气体分析仪结构视频
上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 应用场景
冷冻干燥: 硅油检测
电池研发质控: 锂电池产气分析, 电池注液后泄露检漏
镀膜工艺: 镀膜过程监控
尾气分析: 汽车尾气或燃料电池放气(质谱法在线测试氢气纯度)
化工催化: 石油裂化催化剂
电子器件封装: 电子元器件气氛监测
真空炬气氛: 碳化硅长晶-质谱在线监控
工业检漏
若您需要进一步的了解 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东:叶小姐 台湾伯东:王小姐
M: +86 1391-883-7267 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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qq:2821409400

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