Temptronic ThermoChuck

美国 inTEST Thermal Solutions 隶属于 inTEST Corporation 集团, 作为超过 50 年的热测设备专家, 在全球范围内提供准确的温度控制解决方案. inTEST 品牌包含 Temtronic 热流仪, Thermonics 超低温冰水机, Sigma Systems 和 North Sciences. 为芯片温度测试, 过程冷却和生物医学冷藏提供产品和定制解决方案. 上海伯东是美国 inTEST 中国总代理.
inTEST 热流仪

Temptronic ThermoChuck

ThermoChuck 是用于晶圆测试的导电加热和冷却系统, 一般搭配晶圆探针台共同使用, 提供 -65 至 +300°C 高低温环境, 适用晶圆 150 mm, 200 mm, 可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试, 例如低泄漏探测 (fA级) 和高电压探测 (高达10 kv)

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