KRI 霍尔离子源典型应用 IBAD 辅助镀膜
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KRI 霍尔离子源典型应用 IBAD 辅助镀膜

 美国 KRI 离子源应用于蒸镀直径 1.5m 天文望远镜镜片全反射膜
上海伯东代理美国 KRI 大尺寸霍尔离子源 EH 3000 HC, 离子束具有业界中最高广角的涵盖面积及最高密度的离子浓度, 在离子辅助镀膜工艺中 Ion Beam Assisted Deposition, IBAD 可以获得高均匀性及高致密性的膜层. EH 3000 HC 近日成功应用于直径 2.2m 蒸镀机, 用于蒸镀 1.5m 天文望远镜镜片. 通过使用上海伯东 KRI 离子源镀全反射膜, 高均匀性及高致密性的膜层可以保障光源有效反射, 尽可能减少吸收. 直径 2.2m 镀膜腔, 仅需安装1台 EH 3000 HC 霍尔离子源, 即可完成镀膜, 直接降低企业成本!
霍尔离子源,蒸发镀膜
上海伯东离子源蒸镀典型案例: 根据客户 2.2m 镀膜腔体尺寸, 基材尺寸和工艺条件, 推荐选用霍尔离子源 eh3000 HC, 配置中空阴极, 中和器, 自动控制器
1. 设备: 2.2m 蒸镀镀膜机.
2. 基材: 1.5m 天文望远镜镜片镀铝 Al, 最外层镀一层二氧化硅 SiO2, 做为保护膜
3. 离子源条件: Vb:120V ( 离子束阳极电压 ), Ib:14A ( 离子束阳极电流 ), O2 gas:45sccm( 氧气 ).
4. 离子源应用: 天文望远镜镜片镀全反射膜, 约3个小时; 保障光源有效反射, 尽可能减少吸收.

霍尔离子源 EH 3000 HC 主要技术参数

离子源

尺寸: 直径= 9.7“ 高= 6”
放电电压 / 电流: 50-300V / 20A
可通气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2,
离子束发散角度:> 45° (hwhm)
水冷

 离子源
KRI 离子源控制器类似应用: 汽车头灯模块镀全反射膜, 使发光源的光全部反射出去照亮

美国 KRi 霍尔离子源凭借高密度的离子浓度, 广角度涵盖面积的离子束, 可控制离子的强度及浓度, 已广泛应用于离子辅助镀膜 IBAD , 获得高质量的膜层. 上海伯东美国 KRi 霍尔源可依客户镀膜机尺寸, 基材尺寸及工艺条件选择对应型号: EH 400, EH 1000, EH 2000, EH 3000.

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理.

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解离子源镀膜案例, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
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