氦质谱检漏仪半导体配件检漏
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氦质谱检漏仪半导体配件检漏

氦质谱检漏仪半导体配件检漏
某专门生产半导体配件公司, 高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体行业, 因半导体行业的苛刻使用要求, 产品漏率值需要达到 10-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作, 经过上海伯东推荐最终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390.

待检漏产品:
氦质谱检漏仪半导体配件检漏
半导体配件检漏方法:
根据待检漏产品特性, 选择真空法来检漏, 设定好漏率值,用检漏仪直接连接待检漏配件, 检漏仪将检测配件内部的气体抽到一定的真空度, 然后氦气通过喷枪吹扫在部件的外表面. 可直观定位漏点, 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 符合人体工学设计, 移动性强, 完全符合 Semi S2 标准!
氦质谱检漏仪半导体配件检漏

上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390

针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, ASM 390 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间, 可以加速泄漏检测流程, 降低生产设备的停机时间!
检测气体: 4He, 3He, H2
最小检测漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
对氦气的抽速: 10 l/s
前级泵抽速: 35 m3/h

鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解半导体配件检漏方案, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                          F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                        ec@hakuto.com.tw
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