HVA 真空闸阀 71000 系列
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HVA 真空闸阀 71000 系列

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列
上海伯东美国 HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列是专为最苛刻的真空环境而设计. 真空闸阀 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 条件下加工成形, 真空闸阀两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, 最大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用. 

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列特性:
易于系统集成, 几乎满足所有应用
不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子
使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
高压和机械加工的不锈钢阀体
真空闸阀口径 DN 50-200 mm
手动或气动控制
标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
真空闸阀最大烘烤温度 250°C
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口

HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列参数:

 阀门材质:

 - 阀门主体

 304 不锈钢

 - 焊接波纹管轴封

 AM - 350

 阀门密封方式

 - 高真空

 氟橡胶

 真空:

 - 压力范围

 高真空 1x10-9 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差压关闭

 2 bar (任意位置)

 - 开启前最大压力

 ≤ 1 bar

 烘烤温度(不含电磁阀):

 - 佛橡胶密封

 150 °c, 可选配置最大 250 °c

 - 驱动方式

 手动 60 °c, 气动 60 °c

 - 气体

 80 psig (5.5 bar)

 - 电磁

 4.0 Watts

 - 供电

 120 VAC 50 /60 Hz

 - 可选电压

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 - 位置指示器,最大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

 使用寿命: > 250,000  启闭次数 (具体视实际使用情况决定)

 公称通径: DN 50 - 200 mm


HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列部件图:
美国 HVA 真空闸阀71000系列

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