磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M,ATH 500 M
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磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M,ATH 500 M

上海伯东德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M,ATH 500 M:抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵。HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。动平衡装置会进行自动校准,Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比。

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800MATH 500 M产品优点
1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装
2.集成控制器
3.清洁无油
4.高气体流量
5.低震动及低磁场干扰
6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿
7.转速范围大
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800MATH 500 M技术参数

分子泵型号

分子泵连接尺寸 DN

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强hPa

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动时间

重量

进气口

排气口

氮气
N2

氦气He

氢气 H2

氮气
N2

氮气N2

hPa

氮气N2

min

kg

HiPace 300 M

100

16

255

215

170

> 1X1011

20

< 1X10–7

28

2

13.1 – 17.2

ATH 500 M

ATH 500 MT

160

25

550

390

190

> 2X107

2.6

< 1X10–8

67

2

17 – 18

HiPace 700 M

160

25

685

600

480

> 1X101

8

< 1X10–7

13

4

15.7 – 20.8

HiPace 800 M

200

25

790

625

500

> 1X101

8

< 1X10–7

13

4

17.1 – 21.5

Pfeiffer 分子泵

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