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涡轮分子泵分子束外延 MBE 与扫描隧道显微镜 STM 联用
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涡轮分子泵分子束外延 MBE 与扫描隧道显微镜 STM 联用

Pfeiffer 分子泵应用于分子束外延 MBE 与扫描隧道显微镜 STM 联用系统 -- 分析生长晶体表面结构
分子束外延 MBE 是一种晶体生长技术, 将半导体衬底放置在超高真空腔体中, 和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中, 由分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流能在衬底上生长出极薄的, 可薄至单原子层水平, 单晶体和几种物质交替的超晶格结构.

扫描隧道显微镜 STM 是一种利用量子理论中的隧道效应探测物质表面结构的仪器, STM 技术的最大优势在于可获得原子级的分辨率.

分子束外延 MBE 与扫描隧道显微镜 STM 联用: 可以成功分析 MBE 生长晶体表面结构, 这种联用现已广泛应用于各大院校和研究院应用表面物理实验中. 分子束外延 MBE 与扫描隧道显微镜 STM 系统都需要在超高真空环境中进行, 对真空度要求及其高, 需要分子泵低振动, 低噪音, 清洁无油确保超高真空的稳定性已保证晶格的生长和后期的探测分析. 上海伯东 Pfeiffer 分子泵搭配美国 HVA 真空阀门成功应用于此行业.

上海伯东 MBE STM 联用客户案例: 某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统,经过伯东推荐,采用 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300涡轮分子泵 Hipace 80 并搭配美国 HVA 真空闸阀成功分析生长晶体表面结构.
分子泵
超高真空系统配置:

分子泵

涡轮分子泵 HiPace 300
接口: DN 100 CF-F
极限真空: < 5X10-10 mbar
氮气压缩比: > 1X1011

分子泵

涡轮分子泵 HiPace 80
接口: DN 63 CF-F
极限真空: < 5X10-10 mbar
氮气压缩比: > 1X1011

HVA真空闸阀

HVA 超过真空闸阀 11000
口径: DN 50 CF-F
极限真空: 1x10-10 mbar
手动操作


上海伯东 Pfeiffer 分子泵广泛应用于友厂, 如英福康 Inficon UL1000 氦质谱检漏仪, 爱发科 Ulvac Heliot 氦质谱检漏仪, 布鲁克 Bruke 医疗设备, 岛津 Shimadzu 分析仪器等.

Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 更多分子泵典型应用 >>

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