Polycold 水汽深冷泵/冷冻机
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Polycold 水汽深冷泵/冷冻机

Polycold 冷冻机工作原理通常在高真空腔内,水气分子是最典型的污染气体,占腔内残余气体 65% 到 95% ,当真空度达到 10-4 mbar 时,水汽分子会非常难抽,为了快速的达到较高的真空度,Polycold 研发出水汽深冷泵,快速吸附真空腔内的水汽,辅助抽真空,极短的时间达到10-8 mbar 高真空。
Polycold Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速闭环水气深冷泵-冷冻机,通过使用专利的 Polycold 无毒环保型冷媒,利用麦斯纳(Meissner)吸收原理,使水气分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结从而被捕集。低温盘管可直接安装在真空腔中,根据客户腔体定制。

Polycold 应用:真空镀膜(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空,腔体内会残留大量水汽和油蒸汽,不但影响抽真空的时间,水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源,从而影响镀膜产品的产量和质量,Polycold 冷冻机在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,真空抽气时间缩短 75%,企业产能可增加 20% 到 100%!l
Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用,更加降低了企业成本。

Polycold 组成:
Polycold 组成

 

A:Polycold 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输)
B:外部冷凝管(外部连接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盘(低温盘管)

在售 Polycold 型号:

型号

MaxCool 4000 H

MaxCool 2500 L

PFC-552 HC

PFC-672 HC

PFC-1102 HC *

最大负载 Watts

4,000

2,500

1,000

1,500

3,600

抽水汽效率 l/s

220,000

140,000

50,000

70,000

200,000

极限真空 mbar

7 x 10-8

1 x 10-9

3x10-9

8x10-9

4x10-8

* Polycold PFC-1102 HC 已经停产,替代型号 MaxCool 4000 H

Polycold 冷媒Polycold 冷媒采用专利新型无毒环保型冷媒,不易燃,我司可提供 MSDS 和上门灌装冷媒服务,原装冷媒采用标准钢瓶包装,外套纸箱,部分型号备有现货
Polycold 原装冷媒型号:

型号

PFC-552 HC 原装冷媒

PFC-672 原装冷媒

PFC-1102 原装冷媒

MaxCool 4000 H

MaxCool 2500 L

数量

1套2瓶

1套2瓶

1套3瓶

1套3瓶

1套3瓶


美国 Brooks 旗下 Polycold  冷冻机(水汽深冷泵),超过40年的冷冻机研发及制造经验。Polycold 冷冻机辅助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气,帮助企业显著提升产能和镀膜质量。Polycold 冷冻机广泛加装在光驰 Optorun、新柯隆 Shincron、莱宝 Leybold 真空镀膜机。上海伯东是美国 Polycold 冷冻机中国地区唯一指定总代理,全权负责 Polycold 销售和售后维修服务。
扩展阅读:真空镀膜机加装 Polycold
                   Polycold 冷冻机常见故障
                   Polycold 冷媒
 

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