Pfeiffer 普发多级罗茨泵
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Pfeiffer 普发多级罗茨泵

Pfeiffer 普发多级罗茨泵(干式真空泵)
上海伯东 Pfeiffer 普发多级罗茨泵 (干式真空泵) 为各种应用提供清洁和干燥的真空环境!提供适合清洁制程应用的 ACP 系列多级罗茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 适合普通制程应用的 A3P 系列和适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
适合清洁制程应用的干泵
气冷型多级罗茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保养, 适用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程.

型号

接口尺寸 DN

极限真空度 mbar

抽速

最大漏率

重量

有气镇阀

无气镇阀

m3/h

mbar l/s

kg

ACP 15 SD
ACP 15 G

25

0.1

3.10-2

14

< 5.10-7

23

ACP 28 SD
ACP 28 G
ACP 28 CV
ACP 28 CP
ACP 28 SH

25

0.1

3.10-2

27

< 5.10-7

30

ACP 40 SD
ACP 40 G
ACP 40 CV
ACP 40 CP
ACP 40 SH

40

0.1

3.10-2

37

< 5.10-7

32

SD: 标准版本, 适用于要求清洁无尘且无腐蚀性气体的应用设. 标准泵配有气镇阀, 可以改善小分子气体的抽气能力并避免泵内部冷凝. 三种气镇可选,满足不同应用
G: 抗腐蚀版本, 适用于微量腐蚀性气体, 三个吹扫气体喷嘴可保护低压和高压轴承, 并稀释一定量的腐蚀性气体.
CV: 耐水汽版本, 适用于抽气环境含有水汽的应用, 纯水蒸汽容量扩展至 1,000 g/h
SH: 无氟版本
CP: 气体回收版本, 通入气体必须是清洁,  无尘, 无腐蚀性的气体

紧凑型多级罗茨泵 A 100 L , 用于洁净制程的整体式干泵

型号

进气口尺寸 DN

极限压力 hPa

抽速

噪音比

重量

m3/h

dB (A)

kg

A 100 L

50

6.6 X 10-3

100

58

100

A 100L ES

50

7 X 10-4

100

55

100

A 200 L

50

8 X 10-3

200

58

100

L: 标准版本    ES: 节能版本

适合工业用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低极限压力多级罗茨泵 ACP 120 泵可用于冷冻干燥应用

型号

连接尺寸

DN

吹扫流为50 SL/mn

极限压强

抽速

噪音比

重量

Mbar

m3/h

dBA

kg

ACP 120

50

NA

95

< 65

205

ACP 120 G

50

3E-2

95

< 65

205

ACG 600 G

100

6 X 10-3

480

68

320

二、适合普通制程应用的 A3P 系列, 适用于针对中型工艺的高能效先进技术
具有三款型号可选, 由于产品极大地降低了运营成本, 使其在市场中脱颖而出. 与以往真空泵技术相比, 最高节约能耗可达 50%, 在工艺适应性方面, 该系列真空泵结合了最先进的技术.此外, 由于产品的结构设计紧凑, 使其与传统的真空泵相比, 可节约高达50%的空间.

三、适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
 

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