普发氦质谱检漏仪

Pfeiffer 普发多级罗茨泵(干式真空泵)
上海伯东 Pfeiffer 普发多级罗茨泵 (干式真空泵) 为各种应用提供清洁和干燥的真空环境！提供适合清洁制程应用的 ACP 系列多级罗茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 适合普通制程应用的 A3P 系列和适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
一、适合清洁制程应用的干泵
气冷型多级罗茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保养, 适用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程.

型号	接口尺寸 DN	极限真空度 mbar		抽速	最大漏率	重量
		有气镇阀	无气镇阀	m3/h	mbar l/s	kg
ACP 15 SD ACP 15 G	25	0.1	3.10-2	14	< 5.10-7	23
ACP 28 SD ACP 28 G ACP 28 CV ACP 28 CP ACP 28 SH	25	0.1	3.10-2	27	< 5.10-7	30
ACP 40 SD ACP 40 G ACP 40 CV ACP 40 CP ACP 40 SH	40	0.1	3.10-2	37	< 5.10-7	32

SD: 标准版本, 适用于要求清洁无尘且无腐蚀性气体的应用设. 标准泵配有气镇阀, 可以改善小分子气体的抽气能力并避免泵内部冷凝. 三种气镇可选,满足不同应用
G: 抗腐蚀版本, 适用于微量腐蚀性气体, 三个吹扫气体喷嘴可保护低压和高压轴承, 并稀释一定量的腐蚀性气体.
CV: 耐水汽版本, 适用于抽气环境含有水汽的应用, 纯水蒸汽容量扩展至 1,000 g/h
SH: 无氟版本
CP: 气体回收版本, 通入气体必须是清洁,  无尘, 无腐蚀性的气体

紧凑型多级罗茨泵 A 100 L , 用于洁净制程的整体式干泵

型号	进气口尺寸 DN	极限压力 hPa	抽速	噪音比	重量
			m3/h	dB (A)	kg
A 100 L	50	6.6 X 10-3	100	58	100
A 100L ES	50	7 X 10-4	100	55	100
A 200 L	50	8 X 10-3	200	58	100

L: 标准版本    ES: 节能版本

适合工业用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低极限压力多级罗茨泵 ACP 120 泵可用于冷冻干燥应用

型号	连接尺寸 DN	吹扫流为50 SL/mn 极限压强	抽速	噪音比	重量
		Mbar	m3/h	dBA	kg
ACP 120	50	NA	95	< 65	205
ACP 120 G	50	3E-2	95	< 65	205
ACG 600 G	100	6 X 10-3	480	68	320

二、适合普通制程应用的 A3P 系列, 适用于针对中型工艺的高能效先进技术
具有三款型号可选, 由于产品极大地降低了运营成本, 使其在市场中脱颖而出. 与以往真空泵技术相比, 最高节约能耗可达 50％, 在工艺适应性方面, 该系列真空泵结合了最先进的技术.此外, 由于产品的结构设计紧凑, 使其与传统的真空泵相比, 可节约高达50％的空间.

三、适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.