Pfeiffer 质谱分析仪 HiCube RGA
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Pfeiffer 质谱分析仪 HiCube RGA


Pfeiffer HiCube RGA 质谱分析仪--残余气体分析的一体化解决方案

一体化:
伯东公司代理的德国进口普发新款 Pfeiffer HiCube RGA 真空泵组质谱仪根据客户的气体分析需求,提供一个简单,直接的解决方案。HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)适用于移动应用,并且提供高解析度和灵敏度。结合了 PrismaPlus 四级质谱仪和 Hicube 分子泵组的 HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)为广泛的应用提供了可测量和分析的单元。高科技元件内部协调最佳。

集成安全:节流阀允许客户变更进气压力从而调节进样压力(范围:从大气压力到高真空均可)。一个额外工作的全量程真空计通过压力监测保护质谱仪。当压力超过时,这种压力自动监控功能确保灯丝总是被提前充分切断。这使我们的一体化系统不易误操作造成损坏,久而久之节省金钱。

多种连接选择: HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)通用型设计。由于它的数位和类比输入输出系统以及单元自带的quadera®软体,它可以整合外部信号。同时提供了系统控制和过程监测。软体操作介面友好,介面同时提供测量值以及外部元件信号的整体显示。

优点:
•从大气压力到高真空均可使用
•通过压力监测保护灯丝
•进气系统节流阀
•高解析度和灵敏度
•残余气体分析和氦检漏功能

广泛应用:新款 HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)提供卓越的多功能性。不论是残余气体的分析,过程监测,氦气检漏或真空工艺连接上的品质控制。客户从 HiCube RGA 得到的是一个完整的准备就绪的研究和发展真空的解决方案,不论是半导体和镀膜工业还是更多更深层的工业应用。

典型应用:
•残余气体分析

在一个容器内分析残余气体,当达到所需的极限压力或条件要求时,HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)提供深入了解剩余物质的组成成分。这可以得出关于物质表面属性,解析行为,纯度和容器的密封性,以及工艺气体组成的结论。它提供给客户关于真空室或真空元件状态的重要资讯。


•泄漏检测
HiCube RGA质谱仪(残余气体分析仪)的特点是氦气检漏模式可在软体控制下启动,此功能使得客户在真空系统中更方便找到泄露点。


•过程监控:
由于测量范围可达到300amu,HiCube RGA质谱仪(残余气体分析仪)能够长期清晰的观察到128种选定气体。回圈阈值可以分配给选定的气体。如果气体高于或低于要求的极限,控制系统通过数位输出信号可以传递到更高一级。这样就使 HiCube RGA质谱仪可以提供即时的过程监测和控制。
EVN 116 节流阀额外的允许真空系统中的压力可以被改变以适应讨论过程中的需求,并且另外的集成关闭真空阀提供出色的可重复进气口。


 •品质保证和工艺优化:
HiCube RGA质谱仪(残余气体分析仪)能够提供对气体成分的定量测定并且确定工艺气体纯度,以及监测与气体成分有关的真空镀膜工艺的能力,例如:在工艺设计和品质保证上,它被认为是一个重要的仪器。
即使测量正在进行,所有的测量资料均被存储。无需停止测量,资料依然可被跟踪。甚至在一个测量仍在进行时,为进一步的分析,测量结果也可输出。



技术参数:


尺寸及订购货号:


应用实例:
伯东公司代理 Pfeiffer HiCubeRGA 质谱仪(残余气体分析仪)获得了越来越多客户的青睐,不论是传统行业,还是新兴高科技行业,Pfeiffer质谱分析仪都有着广泛的应用。
•厦门某材料公司,用于保温新材料的开发
•广州某金属研究院,用于储氢材料的分析研究
•福州某结构所,用于物质热分解成分分析研究
•珠海某封装基板厂,用于先进镀铜工艺的分析研发

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