上海 Atonarp 质谱分析仪
上海伯东日本 Atonarp 质谱分析仪通过结合先进的电子和数据处理算法, 开创了化学成分分析领域的先河. 使快速, 经济, 实时的获取分子信息成为现实! Atonarp 提供适用于半导体过程监控的 Aston™ 质谱分析仪, 以及用于制药业的 LyoSentinel™ / AMS 1000 和新平台技术. Atonarp 是制药, 半导体制造, 工业过程控制以及生命科学领域的分子诊断数字转换的先驱.
Aston™ 质谱分析仪为半导体 Sub-fab 提供安全, 可持续性发展的监测控制
Aston™ 质谱分析仪提供稳健, 量化和实时的计量. 原位量化计量在关键灵敏度 / 速度指标上比其他残留气体分析仪优于 10 倍至 100 倍, 并具有强大的等离子电离解决方案, 使它们能够处理苛刻的工艺气体和副产品. 为半导体 Sub-fab 提供安全, 可持续性和节约解决方案
Aston™ 质谱仪通过数字分子分析推进半导体过程控制
上海伯东日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超紧凑型质谱仪, 适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析.
Aston™ 质谱分析仪应用于沉积和刻蚀3D NAND 存储器
3D NAND 工艺通过堆叠存储单元, 提供更高的比特密度, 上海伯东Aston™ 质谱分析仪适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析. 沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程; 蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁.