上海 应用讯息
上海伯东德国普发 Pfeiffer 分子泵成功应用于磁控溅射联合脉冲激光沉积系统
磁控溅射是物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）的一种。可用于制备金属、绝缘体等多材料，具有易于控制镀膜面积大附着力强等优点，磁控溅射法更实现了高速、低温、低损伤。在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition, PLD），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，得到沉淀或者薄膜的一种手段.PLD系统需要超高真空且不能引入任何杂质，对环境的清洁度要求较高，必须配备无油干泵和分子泵抽真空。
上海伯东客户案例：中科院某研究所采购 Pfeiffer 涡轮分子泵用于磁控溅射联合脉冲激光沉积系统
1.系统功能：主要用于陶瓷氧化膜，金属膜，Mn氧化物膜。
2.真空度要求： 真空度< 1x10-8 mbar
3.样品尺寸：大约1-2cm2
4.基板加热温度：700至1000度
5.膜生长控制模式：镀率/厚度/时间 控制模式
该磁控溅射联合脉冲激光沉积系统主要配置以下 Pfeiffer 分子泵:
1.涡轮分子泵 Pfeiffer Hipace 80 *3
2.涡轮分子泵 Pfeiffer Hipace 700 *4
.JPG)
与友厂同级别分子泵相比，上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵主要优点如下：
1.高压缩比 >1x108 ，保证高抽气效率
2.使用寿命长，耐大气冲击
3.复合型涡轮分子泵：内置陶瓷轴承，磁性轴承，紧急轴承；耐大气冲击，易维护保养
4.大抽速 (N2)
5.业内公认最大转子速率可达 90000rpm
真空磁控溅射镀膜机广泛应用于家电电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。
上海伯东主要经营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵:应用于各种条件下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪，以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源，美国HVA真空阀门，Polycold冷冻机等
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东：叶小姐 台湾伯东：王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886 (03) 567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886 (03) 567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
www.hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
上海伯东版权所有，翻拷必究！