应用讯息

伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 2300 集成在 Hauzer 镀膜设备中
上海伯东德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 2300 集成在 Hauzer PVD 镀膜设备中,PVD 镀膜需要在真空环境下进行,因此需要利用分子泵保持稳定的真空度和更长的使用寿命。

涡轮分子泵 Hipace 2300 功能特性
1. 半磁浮涡轮分子泵,采用油棉润滑(起到清洗轴承和给轴承降温的作用)
2. 对气体 Ar, H2,He,N2,CF4 大抽吸能力
3. 高气体通过量
4. 配有 Purge 阀门,防止颗粒进入轴承
5. 真空度最高 5x10-10 hPa

分子泵型号

进气口

抽速 l/S

压缩比

气体流量
hPa l/S

前级真空

HiPace 2300
HiPace 2300 U
HiPace 2300 C
HiPace 2300 UC

DN 250 ISO-K
DN 250 ISO-F
DN 250 CF-F

Ar: 1800
H2: 1850
He: 2000
N2: 1900
CF4: 1450

Ar: >1x108
H2: 2x104
He: 3x105
N2: 1900
CF4: 1x108

Ar: 16
H2: > 30
He: 20
N2: 20
CF4: 14

1.8 hPa

涡轮分子泵 C 系列:抗腐蚀设计,专为腐蚀性气体应用环境而设计研发
涡轮分子泵 U 系列:可以倒装
实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时!更长的运行时间和易维护等优点使其广泛集成在各类真空设备中。

上海伯东客户案例: Hauzer 豪泽 PVD 镀膜设备(内配分子泵 Hipace 2300)用于汽车灯具镀膜
上海伯东普发分子泵 Hipace 2300
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上海伯东参展 2016 深圳光博展

上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。
上海伯东:叶女士                             台湾伯东:王女士
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