应用讯息
伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 2300 集成在 Hauzer 镀膜设备中
上海伯东德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 2300 集成在 Hauzer PVD 镀膜设备中,PVD 镀膜需要在真空环境下进行,因此需要利用分子泵保持稳定的真空度和更长的使用寿命。
涡轮分子泵 Hipace 2300 功能特性:
1. 半磁浮涡轮分子泵,采用油棉润滑(起到清洗轴承和给轴承降温的作用)
2. 对气体 Ar, H2,He,N2,CF4 大抽吸能力
3. 高气体通过量
4. 配有 Purge 阀门,防止颗粒进入轴承
5. 真空度最高 5x10-10 hPa
分子泵型号 |
进气口 |
抽速 l/S |
压缩比 |
气体流量 |
前级真空 |
HiPace 2300 |
DN 250 ISO-K |
Ar: 1800 |
Ar: >1x108 |
Ar: 16 |
1.8 hPa |
涡轮分子泵 C 系列:抗腐蚀设计,专为腐蚀性气体应用环境而设计研发
涡轮分子泵 U 系列:可以倒装
实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时!更长的运行时间和易维护等优点使其广泛集成在各类真空设备中。
上海伯东客户案例: Hauzer 豪泽 PVD 镀膜设备(内配分子泵 Hipace 2300)用于汽车灯具镀膜
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上海伯东主营真空品牌:德国 Pfeiffer 真空设备;美国 Brooks Polycold 冷冻机;美国 KRI 考夫曼离子源;美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic)高低温循环试验机;日本 NS 离子蚀刻机等。
上海伯东:叶女士 台湾伯东:王女士
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