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上海伯东普发 Pfeiffer 真空泵在高精度表面加工中的应用
随着科技不断发展, 对工件加工的精度要求越来越高, 比如天文观测台运用的凹透镜, 在其生产过程中需要对透镜进行打磨和抛光, 达到 150 到 30 Nm 的精度. 实现这一精度绝佳方法是使用离子束加工透镜及其他光学元件, 离子束加工具有可以精确控制, 污染少, 加工应力小, 热变形小, 加工表面质量高等优点. 这种技术可对外形进行准确的修正, 从而产生超高质量的表面.
离子束加工需要真空条件
离子束加工利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应, 溅射效应和注入效应来进行不同的加工. 由于离子束轰击材料是逐层去除原子, 所以可以达到纳米级的加工精度.
离子束加工是在真空条件下先由电子枪产生电子束, 再引入已抽成真空且充满惰性气体的电离室中, 使低压惰性气体离子化. 由负极引出阳离子又经加速, 集束等步骤, 获得具有一定速度的离子投射到材料表面, 产生溅射效应和注入效应. 由于离子带正电荷, 其质量比电子大数千, 数万倍. 所以离子束比电子束具有更大的撞击动能, 通过微观的机械撞击能量进行加工. 上海伯东普发 Pfeiffer 真空泵目前广泛应用于高精度表面加工应用中.
普发 Pfeifer 高精度表面加工客户案例: 某国际知名生产各种规模离子束加工设备厂商, 其生产的设备不仅应用于天文学, 还用于 EUV 光刻技术和传统的光学应用. 其代表设备用于加工天文大规格透镜, 真空腔室配置罗茨泵组和分子泵, 在非常短的时间内提供 10-6 hPa 真空, 加工过程不会在表面上留下任何痕迹或张力, 并且几乎可以加工任何几何形状或材料.
真空系统配置
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罗茨泵组 CombiLine |
涡轮分子泵 HiPace 2300 |
上海伯东 Pfeiffer Vacuum 德国普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品已余20年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.
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