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涡轮分子泵 HiPace 700 应用于离子束刻蚀机
上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 700 成功应用于日本原装进口离子束刻蚀机 IBE, 根据客户实际需求, 提供整套定制方案, 45分钟内真空度达到 1X10-5 hPa, 24小时内的极限真空 8X10-7 hPa.
定制 IBE 离子束刻蚀机, 真空系统条件
圆柱型真空室 *1: φ406mm, 长度 400mm, 材料 SUS 304
真空系统主要配置
上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 700. 对氮气抽速可达到 685 l/s, 紧凑设计, 低能耗的同时保证更高抽吸能力, 占地面积小, 任意位置安装. 适用于工业环境-保护等级 IP 54, 通过半导体 S2, UL / CSA 认证.
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型号 |
类型 |
氮气抽速 l/s |
极限真空 hPa |
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685 |
＜1x10-7 |
真空测量
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型号 |
类型 |
测量范围 hPa |
精度 |
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皮拉尼真空规 |
1X10-4 至 1X103 |
15 % (1X10-3 hPa 至 1X 102 hPa) |
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热阴极真空规 |
5X10-10 至 1000 |
± 10 % 至 ± 30 % |
在试验条件下 (试验台上没有安装基材和橡胶) 测试后, IBE 真空系统满足下述要求.
腔室极限真空 8X10-7 hPa
蚀刻工作压力 3X10-4 hPa
45分钟内达到 1X10-5 hPa
24小时内的极限真空 8X10-7 hPa
IBE 离子束刻蚀机是一种干法工艺中的微加工设备, 适用于薄膜磁头, 复合半导体, SAW 器件等的生产和研发. 尤其适用于磁性材料, 金, 铂及各类合金等的铣削加工. 上海伯东提供按需定制的整套刻蚀设备, 也提供适用于离子束刻蚀机的涡轮分子泵, 真空规, 离子源等产品.
上海伯东真空产品事业部代理德国 Pfeiffer 真空产品, 比利时 Europlasma 等离子表面设备, 美国 inTEST ThermoStream 热流仪, 美国 KRi 考夫曼离子源, 美国 HVA 高真空插板阀, 日本 NS 离子束刻蚀机. 上海伯东支持可持续发展目标, 针对不同客户提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用.
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