上海 真空镀膜常见术语中英文对照
真空镀膜常见术语中英文对照:
溅射: Sputtering
靶材: Target
离子溅射镀膜: Ion Beam Sputter Deposition, 简称 IBSD
离子辅助镀膜: Ion Beam Assisted Deposition, 简称 IBAD
离子清洗, 预清洁: Pre-clean, 简称 PC
电子枪蒸镀镀膜机: e-gun coater
分布式布拉格反射镜: Distributed Bragg Reflection, 简称 DBR
离子蚀刻: Ion Beam Etching, 简称 IBE