上海 真空计真空测量原理介绍
电容真空计介绍
真空测量原理介绍
由于压力不同，会引起电容两极距离的变化，这会使电容的大小发生变化。这样通过测量这种电容大小的变化，就能得知当前的真空度。直接压强测量; 测量范围由电极膜片厚度不同而不同
CMR系列真空计参数
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介面 |
DN 16 ISO-KF |
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解析度 |
0.003% 全量程 |
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输出信号 |
0.4---+9.8 VDC |
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介面温度 |
≤110 ℃ |
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最大压力 |
2 bar |
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精度 |
0.2% of reading |
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重量 |
<300 g |
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接触材质 |
Ceramics(AL2O3),Stainless steel |
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测量范围 |
1.1---1.0*10-4mba |
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信号线 |
120 m |
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操作环境温度 |
+5---+50℃ |
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储存环境温度 |
-40---+65℃ |
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供电电压 |
14---30VDC |
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功率消耗 |
1W |
CMR36X与27X比较:
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型号 |
测量范围(mbar) |
型号 |
测量范围(mbar) |
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CMR 361 |
1100--1E-1 |
CMR 271 |
1100--1E-1 |
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CMR 362 |
110—1E-2 |
CMR 272 |
110—1E-2 |
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CMR 363 |
11—1E-3 |
CMR 273 |
11—1E-3 |
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CMR 364 |
1.1—1E-4 |
CMR 274 |
1.1—1E-4 |
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CMR 365 |
0.11—1E-5 |
CMR 275 |
0.11—1E-5 |
CMR系列真空计主要特点：
◆没有记忆影响
◆测量精度不受被测对象的成分影响
◆无磨损，耐污染
◆使用热膨胀系数一致的材料----出色的温度补偿能力
◆全系列抗腐蚀性气体
◆0点稳定能力出色
◆耐空气冲击----无须额外的保护阀
应用实例
◆ PVA真空冶炼炉
◆株洲硬质合金
◆富士康臻龙粉末烧结炉
离子真空计原理介绍
压强的大小一方面体现为力的大小，另一方面还体现为单位体积内分子数的多少。在高真空条件下，可以通过计量单位体积内分子数的多少，来测知当前的真空度。
电子在相同的电子能量，相同的磁场中，所引起的分子电离电流越大，说明分子数密度越大。离子真空计就是在高真空条件下，通过计量分子电离电流的大小来测得分子数密度，从而测得真空度。
冷阴极离子真空计（Cold cathode ionization vacuum gauge）
是通过加在阴阳两极间的高电压（3kv左右），激出电子，同时这个电场又给了电子能量，用具有一定能量的电子去电离空气分子。
热阴极离子真空计(Hot cathode ionization vacuum gauge是通过加热阴极，激出电子，再设置一定的电场（100v左右），给电子一定的能量，去电离空气分子。
冷阴极离子真空计特点:
◆ 结构简单，可靠耐用
◆性价比高，测量范围可到超高真空
◆耐空气冲击
◆全系列可防腐蚀，有高温烘烤型
热阴极离子真空计特点:
◆精度和精密度高
◆测量范围宽
◆探头自动保护
◆全系列可防腐蚀
应用实例
◆Von ardenne玻璃镀膜生产线
◆BPS 溅镀机
Pfeiffer离子真空计介绍
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项目 |
IKR 251 |
IKR 261 |
IKR 270 |
IMR 265 |
PBR 260 |
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信号范围 |
1.8-8.5 V |
1.8-8.5 V |
1.8-8.5 V |
1.5-9.75 V |
0.774-10 V |
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可烘烤温度 |
150 ℃ |
150 ℃ |
250 ℃ |
150 ℃ |
150 ℃ |
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最大耐压 |
10 bar |
10 bar |
10 bar |
5 bar |
2 bar |
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精度 |
±30% |
±30% |
±30% |
- |
15% |
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重复精度 |
±5% |
±5% |
±5% |
2% |
5% |
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测量范围 |
1E-2—2E-9 mbar |
1E-2—2E-9 mbar |
1E-2—5E-11mbar |
1E3—2E-6 mbar |
1E3—5E-10 mbar |
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信号线长度 |
500 m |
500 m |
500 m |
100 m |
100 m |
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电源电压 |
15-30 V |
15-30 V |
15-30 V |
20-30 V |
20-28 V |
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功率消耗 |
2 W |
2 W |
2 W |
16 W |
16 W |