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电容真空计真空测量原理介绍

由于压力不同，会引起电容两极距离的变化，这会使电容的大小发生变化。这样通过测量这种电容大小的变化，就能得知当前的真空度。直接压强测量; 测量范围由电极膜片厚度不同而不同

 

CMR系列真空计参数

介面	DN 16 ISO-KF
解析度	0.003% 全量程
输出信号	0.4---+9.8 VDC
介面温度	≤110 ℃
最大压力	2 bar
精度	0.2% of reading
重量	<300 g
接触材质	Ceramics(AL2O3),Stainless steel
测量范围	1.1---1.0*10-4mba
信号线	120 m
操作环境温度	+5---+50℃
储存环境温度	-40---+65℃
供电电压	14---30VDC
功率消耗	1W

 

 

CMR36X与27X比较:

型号	测量范围(mbar)	型号	测量范围(mbar)
CMR 361	1100--1E-1	CMR 271	1100--1E-1
CMR 362	110—1E-2	CMR 272	110—1E-2
CMR 363	11—1E-3	CMR 273	11—1E-3
CMR 364	1.1—1E-4	CMR 274	1.1—1E-4
CMR 365	0.11—1E-5	CMR 275	0.11—1E-5

 

 

CMR系列真空计主要特点：

1.没有记忆影响

2. 测量精度不受被测对象的成分影响

3. 无磨损，耐污染

4. 使用热膨胀系数一致的材料----出色的温度补偿能力

5. 全系列抗腐蚀性气体

6. 0点稳定能力出色

7. 耐空气冲击----无须额外的保护阀

 

CMR系列真空计应用实例

PVA真空冶炼炉;株洲硬质合金;富士康臻龙粉末烧结炉

 

 

离子真空计原理介绍

压强的大小一方面体现为力的大小，另一方面还体现为单位体积内分子数的多少。在高真空条件下，可以通过计量单位体积内分子数的多少，来测知当前的真空度。           

电子在相同的电子能量，相同的磁场中，所引起的分子电离电流越大，说明分子数密度越大。离子真空计就是在高真空条件下，通过计量分子电离电流的大小来测得分子数密度，从而测得真空度。

冷阴极离子真空计（Cold cathode ionization vacuum gauge）,是通过加在阴阳两极间的高电压（3kv左右），激出电子，同时这个电场又给了电子能量，用具有一定能量的电子去电离空气分子。

热阴极离子真空计(Hot cathode ionization vacuum gauge), 是通过加热阴极，激出电子，再设置一定的电场（100v左右），给电子一定的能量，去电离空气分子。

 

 

Pfeiffer离子真空计介绍

项目	IKR 251	IKR 261	IKR 270	IMR 265	PBR 260
信号范围	1.8-8.5 V	1.8-8.5 V	1.8-8.5 V	1.5-9.75 V	0.774-10 V
可烘烤温度	150 ℃	150 ℃	250 ℃	150 ℃	150 ℃
最大耐压	10 bar	10 bar	10 bar	5 bar	2 bar
精度	±30%	±30%	±30%	-	15%
重复精度	±5%	±5%	±5%	2%	5%
测量范围	1E-2—2E-9 mbar	1E-2—2E-9 mbar	1E-2—5E-11mbar	1E3—2E-6 mbar	1E3—5E-10 mbar
信号线长度	500 m	500 m	500 m	100 m	100 m
电源电压	15-30 V	15-30 V	15-30 V	20-30 V	20-28 V
功率消耗	2 W	2 W	2 W	16 W	16 W

 

冷阴极离子真空计特点:

1. 结构简单，可靠耐用

2.性价比高，测量范围可到超高真空

3.耐空气冲击

4.全系列可防腐蚀，有高温烘烤型

 

热阴极离子真空计特点:

1. 精度和精密度高

2. 测量范围宽

3. 探头自动保护

4. 全系列可防腐蚀

 

Pfeiffer离子真空计应用实例

Von ardenne玻璃镀膜生产线;BPS 溅镀机