Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机
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Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 / 冷冻机
上海伯东代理 Polycold® MaxCool 2000 冷冻机是一种闭环低温制冷系统, 可提供高达 2,000 瓦的冷却功率. 通过将水蒸气冻结在低温盘管或 V 形挡板等冷盘上来快速吸附占真空腔内残留气体 65% 到 95% 的水汽. MaxCool 2000 冷冻机还适用于将物体冷却至低温, 例如半导体晶圆加工中使用的静电吸盘.使用 MaxCool 冷冻机可以显著减少抽气时间并提高产品产量.

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵优点:
1. 真空抽气时间缩短 75%
2. 高效的抽水汽效率: 10,000 至 164,000 l/s
3. 产品产量提高 20% 到 100%
4. 在工艺过程中降低水蒸汽的分压力, 从而获得更高质量, 更好的附着力, 和多重沉积膜特性
5. 相对于液氮制冷 LN2, Polycold 冷冻机选用无毒, 环保型冷媒, 可循环使用
6. 通过电源管理最大限度地降低成本
7. 适用于各种工艺的高容量冷却和加热
8. 低温冷凝真空系统中的水蒸气, 抽速可达 164,000 l/s,真空度可达 3 x 10-9 torr(4 x 10-9 mbar)

Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵主要技术参数:

标准性能

最大负载: Watts

2000

抽水汽效率(理论值):l/s

163,900 

启动压力:atm

1

除霜时间:分钟

4

低温盘管, 连接管路

盘管表面面积:m2

1.1

单管路:
盘管直径:mm
盘管长度:m

 

16
21.9

双管路:
盘管直径:mm
盘管长度:m

 

12
14.6

标准外部连接管长度:m

2.4

配套设施

冷却水流量:rate l/min.
13 C˚
18 C˚
24 C˚
29 C˚

 

6.8
9.1
13.6
27.6

功率 kW
待机模式
制冷模式, 低负载
制冷模式, 最大负载

 

5.5
6.2
8.8

占地空间(最小):m3

25

工作噪音(最大):db

72


Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵 抽水汽效率:
Polycold MaxCool 2000 水汽深冷泵
Polycold 冷冻机应用:

上海伯东 Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法. 与传统 LN2 冷却法对比,冷媒可循环使用, 大大降低了企业成本. Polycold 冷冻机主要应用于真空镀膜(溅镀、蒸镀)、半导体(晶圆加工)行业.

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