普发氦质谱检漏仪

高精度气体分析仪 HiQuad® Neo
上海伯东德国普发 Pfeiffer 高精度气体分析仪 HiQuad® Neo 质量范围可选 1-512 u, 测量速度 125 μs/u, 使用 PV MassSpec 软件, 操作简单. Pfeiffer HiQuad® Neo 可作为独立设备集成在系统中, 适用于科研和各类分析系统.  HiQuad® Neo 质谱分析仪模块化设计, 根据实际需要可以自由选择质量范围, 离子源, 放大器, IO 接口等.

高精度气体分析仪 Pfeiffer HiQuad® Neo 优势
模块化设计
使用 PV MassSpec 软件, 操作简单
优异的长期稳定性
灵敏度更高, 动态范围大
测量速度快 125 μs/u。
简单的系统集成 ( 通过 OPC-UA )
支持旧款 HiQuad® 升级为 HiQuad® Neo

质谱分析仪 HiQuad® Neo ( QMG 800 )基本组成
QMS 800: 机架控制单元与杂项板
QMH 800: 射频发生器
QMA 400/430: 四级杆分析仪
EP 822: 前置放大器
PV MassSpec software: 操作软件

质谱分析仪 HiQuad® Neo 技术规格

质量数 u	1-300	1-512 *3
检测极限 hPa	2X10-15	1X10-15
Ar 灵敏度,最低 *1) A/hPa	2X10-4	5X10-4
最大工作压力 法拉第 hPa	1X10-4	1X10-4
最大工作压力 SEV hPa	1X10-5	1X10-5
分压比 SEV ppb	<1	<0.5
测量振动, 最小	125 μs/u – 60 s/u	125 μs/u – 60 s/u
分析仪	QMA 430	QMA 400
杆系统, 材料/直径 mm	不锈钢 / 8	Mo / 8
高频发生器 HF	QMH 800-3	QMH 800-5
测电计前置放大器	EP 822	EP 822
分析仪工作温度 °C	150	150
分析仪烘烤温度 °C	400	400
连接法兰	DN 63 CF-F	DN 63 CF-F

*1) 偏转单元中的法拉第, 单位分辨率, 带磁铁的交叉束离子源, 发射 1 mA
*2) 带磁铁, 最高 300°C
*3) 八小时内稳定性 < 0.1％, 对于质量 40 和 41 u, 对邻近质量的影响 < 0.1 ppm

质谱分析仪 HiQuad® Neo 应用
适用于更高精度要求和测量速度要求的 EUV 极紫外光刻的洁净度验证 , 科研和各类分析系统.

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