Aston™ 过程质谱仪保护环境免受半导体有害气体排放污染
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Aston™ 过程质谱仪保护环境免受半导体有害气体排放污染

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪保护环境免受有害气体排放污染
半导体和薄膜太阳能工艺使用并产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体需要以受控方式进行处理. 许多废料的处理受环境法规的规定,如美国 NESHAP 标准. 此规则规定的主要有害空气污染物包括但不限于占有害空气污染物排放总量 90% 以上的五种化学物质: 盐酸 HCl , 氟化氢 HF, 乙二醇醚, 甲醇, 和二甲苯.

美国环境保护局对混合空气毒物工艺通风孔 (有机和无机) 的排放限值为 14.22 PPM(按体积计算). 监测并销毁额外的全氟化碳气体 PFC 和硅烷 SiH4 等自燃气体.

问题
减排面临着多重挑战. 需要监测来自减排系统的环境废气, 以确保符合法规要求, 需要一款具有高灵敏度, 实时, 现场计量, 且精度达到 PPM 级的质谱分析仪. 此外, 优化减排需要测量废气中进入减排系统的污染物浓度, 从而可以调节氮气稀释和减排燃烧气体消耗量, 以确保快速去除污染物. 天然气 (甲烷) 通常用于普通烧洗减排系统中的高温热气体分解, 优化其使用可降低减排过程成本和二氧化碳排放.

上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供有害气体排放污染解决方案: 数据驱动的减排
许多减排系统是“开环”运行的, 导致天然气和氮气消耗量较高. 此外, 通常不会对减排成功的分析数据进行监控和记录, 从而使公司面临环境监管责任. 使用 Atonarp Aston™ 质谱分析仪, 可以根据进入的废气浓度和测量的排放气体数据, 记录日志, 对减排燃烧过程进行现场优化控制, 以记录环境合规性. Aston™ Plasma 质谱分析仪能够承受严酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl )气体, 并能提供低至 PPB 水平的灵敏度.  通过快速, 准确的现场计量, 实现快速地减排气体监测和废气环境合规性.

Atonarp  Aston™ 质谱分析仪技术参数

类型

Impact-300

Impact-300DP

Plasma-200

Plasma-200DP

Plasma-300

Plasma-300DP

型号

AST3007

AST3006

AST3005

AST3004

AST3003

AST3002

质量分离

四级杆

真空系统

分子泵

分子泵
隔膜泵

分子泵

分子泵
隔膜泵

分子泵

分子泵
隔膜泵

检测器

FC /SEM

质量范围

2-285

2-220

2-285

分辨率

0.8±0.2

检测限

0.1 PPM

工作温度

15-35“℃

功率

350 W

重量

15 kg

尺寸

299 x 218 x 331 LxWxH(mm)

400 x 240 x 325 LxWxH(mm)


若您需要进一步的了解 Atonarp  Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
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