Aston 半导体过程质谱仪

上海伯东代理日本 Atonarp 高科技分子传感和数字诊断测试设备. Atonarp 通过结合先进的电子和数据处理算法, 开创了化学成分分析领域的先河. 使高效, 经济, 实时的获取分子信息成为现实! Atonarp 提供适用于半导体过程监控的 Aston™, 以及用于制药业的 LyoSentinel™ / AMS 1000 和新平台技术 ATON-360 ( 无需使用化学试剂即可提供实验室质量的结果. 实现即时, 非侵入数字分子诊断测试.). Atonarp 是制药, 半导体制造, 工业过程控制以及生命科学领域的分子诊断数字转换的先驱.

Atonarp 分子传感和数字诊断监测

Atonarp 适用于半导体过程控制在线质谱仪 Aston™

Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中  ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率

Aston™ 质谱分析仪保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响

Aston™ 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 在恶劣的 CVD 环境中, Aston™ 利用可操作的数据预测和预防因 CVD 干泵引起的灾难性故障.

Aston™ 过程质谱仪保护环境免受半导体有害气体排放污染

半导体和薄膜太阳能工艺使用并产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体必须以受控方式进行处理. 使用 Aston 等离子体质谱仪, 可以根据进入的废气浓度和测量的排放气体数据, 记录日志, 对燃烧过程进行现场优化控制.

Aston™ 过程质谱仪应用于半导体光刻中极紫外光源技术

EUV 极紫外光刻技术越来越多地被用于支持 <10nm 工艺技术的关键尺寸图案. 管理这些价值超过 2亿美元的光刻机的运行时间和生产量对晶圆厂的经济至关重要. 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱分析仪通过快速, 可操作, 高灵敏度的分子诊断数据实现了最佳的反射板镀锡层清洁, Aston™ 过程质谱的实时氢气监测也降低了每个 EUV 工具的氢气消耗!

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