HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列
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HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列

美国 HVA 真空闸阀 21200 系列
美国 HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列特别适合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵,离子泵等完美联用。

HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列产品特点
直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小。HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁,因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃,1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成,确保了阀门的最大完整性。 在保养方面,支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选,标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控
HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列技术参数

阀门材质:

阀门主体

304不锈钢

焊接波纹管轴封

AM-350

驱动轴和驱动销

硬质不绣钢

密封件

氟橡胶

真空:

压力范围

1x10-9 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差压关闭

1 bar (任意位置)

开启前最大压力

≤ 30 mbar

烘烤温度(不含电磁阀):

佛橡胶密封

150 °c

驱动方式

手动 60 °c;气动 60 °c

使用寿命:1,000,000启闭次数

公称通径:DN16-320 mm


HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品部件图



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