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涡轮分子泵 HiPace 1500
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涡轮分子泵 HiPace 1500

Pfeiffer 分子泵 HiPace 1500
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1500, 抽速可达 1450 l/s 的高性能涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 带有气体密封阀 24 V DC 的集成型气体密封系统.

涡轮分子泵 HiPace 1500 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统

涡轮分子泵 HiPace 1500 技术参数：

分子泵型号

接口 DN

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强mbar

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动
时间

重量

进气

排气

氮气
N2

氦气He

氢气 H2

氮气
N2

氮气N2

 hPa

氮气N2

min

kg

HiPace 1500
Hipace 1500 C
Hipace 1500 U
Hipace 1500 UC

250

40

1,400

1,350

1,150

> 1X108

2

< 1X10–7

20

2.5

29 – 41

涡轮分子泵 Hipace 1500 C 系列：抗腐蚀设计，专为腐蚀性气体应用环境而设计研发
涡轮分子泵 Hipace 1500 U 系列：可以倒装

涡轮分子泵 HiPace1500 抽速

涡轮分子泵 HiPace 1500 尺寸图

涡轮分子泵应用 HiPace 1500


分子泵 Hipace 1500 目前在售型号如下：
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，DN 250 CF-F
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，DN 250 ISO-K，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，DN 250 CF-F，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，DN 250 ISO-F，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，DN 250 ISO-K，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，DN 250 CF-F，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，DN 250 ISO-F，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，DN 250 ISO-K，可以倒装，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，DN 250 CF-F，可以倒装，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，DN 250 ISO-F，可以倒装，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 CF-F
分子泵 HiPace 1500，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-K，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 CF-F，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 U，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-F，可以倒装
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-K，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 CF-F，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-F，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-K，可以倒装，防腐蚀
分子泵 HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 CF-F，可以倒装，防腐蚀
分子泵HiPace 1500 U C，具有 TC 1200，Profibus，DN 250 ISO-F，可以倒装，防腐蚀

上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1500 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业.
若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )     T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
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