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Temptronic ThermoChuck
上海伯东美国 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 系统利用导电加热和冷却系统，搭配晶圆探针台共同使用，提供 -65 至 +300°C 高低温环境，适用晶圆 150 mm、200 mm、300 mm ，可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试，例如低泄漏探测(fA)和高电压探测(10 kv)，适用于晶圆、芯片在电高低温环境下的特性描述、失效分析等。Temptronic ThermoChuck 适合各种厂牌晶圆探针台，为确保兼容性，具体选型还请拨打客服热线：021-50463511
一、晶圆尺寸：150 和 200 mm
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ThermoChuck 型号 |
温度范围°C |
冷却 |
加热 |
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TP03000A |
-65 to +200°C |
Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling |
热电 |
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TP03010A |
+20 to +200°C |
风冷/水冷* |
热电 |
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TP03010B |
0 to +200°C |
Closed loop glycol/water cooling |
热电 |
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TP03015A |
+30 to +200°C (+300ºC optional) |
风冷/水冷* |
电阻 |
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TP03015B |
+30 to +200°C (+300°C optional) |
Closed loop glycol/水冷 |
电阻 |
电压 115V或 220V
* 用户提供冷却介质
二、晶圆尺寸：300 mm
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ThermoChuck 型号 |
温度范围°C |
冷却 |
加热 |
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TP03500A |
-55 to +200 |
Mechanical refrigeration, closed loop liquid cooling |
电阻 |
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TP03500D |
+20 to +200 |
Open loop air cooling with Vortex* |
电阻 |
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TP03500E |
+30 to +200 |
Open loop air cooling* |
电阻 |
电压 220V
* 用户提供冷却介质