Temptronic ThermoChuck
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Temptronic ThermoChuck

Temptronic ThermoChuck
上海伯东美国 inTEST 旗下 Temptronic ThermoChuck 是用于晶圆测试的导电加热和冷却系统, 一般搭配晶圆探针台共同使用, 提供 -65 至 +300°C 高低温环境, 适用晶圆 150 mm, 200 mm, 可用于激光微调 Laser Trim 和晶圆老化 Burn-in 测试, 例如低泄漏探测 (fA级) 和高电压探测 (高达10 kv) , 适用于晶圆, 芯片在电高低温环境下的特性描述, 失效分析等. Temptronic ThermoChuck 适合各种厂牌晶圆探针台, 为确保兼容性, 具体选型还请联络上海伯东

ThermoChuck 特性
-65 至 +300°C 高低温环境
适用晶圆 150 mm, 200 mm
现有探测站可进行改造

ThermoChuck 在售型号
适用晶圆尺寸: 150 和 200 mm
电压 115V 或 220V

型号

温度范围°C

冷却

加热

TP03000A

-65 to +200°C

机械制冷, 密闭乙二醇循环冷却

热电

TP03010A

+20 to +200°C

风冷或水冷*

热电

TP03010B

0 to +200°C

密闭乙二醇循环冷却或水冷

热电

* 用户提供冷却介质

美国 inTEST Thermal Solutions 隶属于 inTEST Corporation 集团, 作为超过 50 年的热测设备专家, 在全球范围内提供准确的温度控制解决方案. inTEST 品牌包含 Temtronic 热流仪Thermonics 超低温冰水机Sigma Systems 和 North Sciences. 为芯片温度测试, 过程冷却和生物医学冷藏提供产品和定制解决方案. 上海伯东是美国 inTEST 中国总代理.

若您需要进一步了解 ThermoChuck 详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
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