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干式真空泵 A 100 L-A 200 L
上海伯东销售维修 Pfeiffer 干式真空泵（多级罗茨泵）A 100 L-A 200 L，用于洁净制程的整体式干泵，紧凑设计，大抽速，低能耗，满足半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求，是load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺的完美解决方案。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L排除了泵安装中的真空管路影响，通过使用 Pfeiffer 整体式干泵，可降低真空管路安装、集成和调试的成本。Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L高可靠性和长期稳定性使其脱颖而出，现已广泛应用于全世界范围内的 300 mm 半导体工厂。
干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时，提供干燥无尘的洁净真空，适合在无尘室中使用，整体式干泵也为太阳能光电设备提供最佳解决方案。低噪音和低振动是该水冷型干泵的其他优势，小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性，是各大设备厂商首选。
干式真空泵 A 200 L是针对高气流量应用的全新解决方案，抽速200 m3/h，再次展示出了其在整体式干泵市场中全球领导地位。
上海伯东 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要优点
高气流量，大抽速
结构紧凑，占地面积小
易于集成，运行成本低
低噪音和低震动，无油无尘
即插即用系统：集成型监察装置
干式真空泵 RS232 / RS485 接口可选
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 应用行业
Load-lock 和传送腔
半导体生产
光伏
工业（低温，气体制造，激光源）
分析仪（用于电子显微术或表面分析的闸室）
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技术参数
|
型号 |
进气口尺寸 DN |
极限压力 hPa |
抽速 |
噪音比 |
重量 |
|
m3/h |
dB (A) |
kg |
|||
|
A 100 L |
50 |
6.6 X 10-3 |
100 |
58 |
100 |
|
A 100L ES |
50 |
7 X 10-4 |
100 |
55 |
100 |
|
A 200 L |
50 |
8 X 10-3 |
200 |
58 |
100 |
L:标准版本 ES:节能版本
干式真空泵 A 100 L 标准版本
冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型号：
A 100 L 标准版本，低电压，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
A 100 L ES 节能版本
紧凑型干泵集成节能模块，有效减少了 50% 的耗电量。冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型号：
A 100 L ES 节能版本，低电压，16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，19 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速图
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