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Pfeiffer 普发分子泵 HiPace 60P
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可达到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮气吹扫阀, 耐粉尘, 特别适合工业环境, 无 Holweck-stage, 通过保护等级 IP54. 集成控制器 TC 110 保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 60P 可以安装在任何方向, 自然水冷或风冷. 对标 Edwards STP 磁悬浮分子泵.
分子泵 HiPace 60P 技术参数:
型号 |
HiPace® 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K |
HiPace® 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K |
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复合轴承 |
陶瓷球轴承 |
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Ar 压缩比 |
2 X106 |
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H2 压缩比 |
2 X102 |
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He 压缩比 |
3.5 X103 |
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N2 压缩比 |
1 X106 |
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标准冷却 |
对流 |
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可选冷却 |
风冷, 水冷 |
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冷却水消耗 |
75 l/h |
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冷却水温度 |
5-25 °C |
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电子驱动 |
TC 110 |
TC 110 RS |
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进气法兰 |
DN 63 ISO-K |
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排气法兰 |
DN 16 ISO-KF, G ¼" |
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最大预抽真空, N2 |
4 hPa |
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全转速时气体流量, Ar |
0.83 hPa l/s |
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全转速时气体流量, H2 |
55 hPa l/s |
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全转速时气体流量, He |
55 hPa l/s |
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全转速时气体流量, N2 |
9.2 hPa l/s |
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通讯接口 |
RS-485, Remote |
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安装方式 |
任意位置安装 |
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操作电压 |
24 (± 5 %) V DC |
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允许最大磁场 |
4 mT |
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保护类型 |
IP 54 |
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抽速 Ar |
63 l/s |
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抽速 H2 |
28 l/s |
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抽速 He |
48 l/s |
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抽速 N2 |
64 l/s |
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转速 ± 2 % |
90,000 rpm |
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启动时间 |
1.1 min |
1 min |
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极限真空 |
< 1X10-6 hPa |
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放气接口 |
G 1/8" |
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重量 |
2.2 kg |
2.3 kg |
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分子泵资料下载 |
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分子泵应用 HiPace 60P: 专为抽气环境含小颗粒悬浮物设计研发, 耐粉尘设计, 广泛应用于镀膜和工业领域.
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD
研发: 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
涡轮分子泵 HiPace 60P 对不同气体抽速
涡轮分子泵 HiPace 60P 尺寸图
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 60P 目前在售型号
分子泵 HiPace 60 P TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 60 P TC 110 RS DN 63 ISO-K
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