氦质谱检漏仪半导体流量控制阀MFC检漏
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氦质谱检漏仪半导体流量控制阀MFC检漏

氦质谱检漏仪半导体流量控制阀 MFC 检漏
上海伯东德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪成功应用于深圳某半导体设备生产商, 此次共采购 5台德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪,用于流量控制阀 MFC 检漏.

流量控制阀 MFC 主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制. 流量控制阀 MFC 在半导体和集成电路工业, 特种材料学科, 化学工业, 石油工业和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.

伯东公司客户主要生产流量控制阀 MFC, 由于产品的特殊性. 对密封性要求特别高,达5E-11 Pa m3/s,选用其他氦质谱检漏仪根本达不到实际生产测量要求, 或者生产效率特别低下,经过实际论证, 最终确定选用上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪.


伯东公司德国普发 Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 340 采用触屏设计, 中文操作界面, 使用业界最新工艺设计生产, 具有坚固耐用, 操作简单, 抽气速度快, 数据可靠等特点. 伯东公司协助客户选型并提供完善的售后服务.
氦质谱检漏仪ASM340

氦质谱检漏仪 ASM 340 技术参数:

型号

ASM 340 W

ASM 340 D

ASM 340 I

对氦气的最小检测漏率

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

真空模式和吸枪模式

真空模式和吸枪模式

检测气体

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

启动时间 min

3

3

3

对氦气的抽气速度 l/s

2.5

2.5

2.5

进气口最大压力 hPa

25

25

5

前级泵抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前级泵

重量 kg

56

45

32



若您需要进一步的了解氦质谱检漏仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
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