Polycold 水汽深冷泵/冷冻机
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Polycold 水汽深冷泵/冷冻机

Polycold 冷冻机工作原理: 通常在高真空腔内, 水气分子是最典型的污染气体, 占腔内残余气体 65% 到 95%, 当真空度达到 10-4 mbar 时, 水汽分子会非常难抽, 为了快速的达到较高的真空度, Polycold 研发出水汽深冷泵, 快速吸附真空腔内的水汽, 辅助抽真空, 极短的时间达到10-8 mbar 高真空.
Polycold Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速闭环水气深冷泵 - 冷冻机, 通过使用 Polycold 无毒环保型冷媒, 利用麦斯纳 (Meissner) 吸收原理, 使水气分子在低温盘管 (Cryocoil ) 的超低温表面上凝结从而被捕集. 低温盘管可直接安装在真空腔中, 根据客户腔体定制.

Polycold 应用: 真空镀膜 ( 溅镀, 蒸镀 ) 一般使用油扩散泵抽真空, 腔体内会残留大量水汽和油蒸汽, 不但影响抽真空的时间, 水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源, 从而影响镀膜产品的产量和质量, Polycold 冷冻机在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气, 真空抽气时间缩短 75%, 企业产能可增加 20% 到 100%!l
Polycold 冷冻机利用新型无毒环保型冷媒, 可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法. 与传统 LN2 冷却法对比, 冷媒可循环使用, 更加降低了企业成本.

Polycold 组成:
Polycold 组成

 

A: Polycold 冷冻机主机(铜环和轮子可以选配,方便运输)
B: 外部冷凝管(外部连接管)
C: Feedthrough
D: 真空腔
E: 冷盘(低温盘管)

在售 Polycold 型号:

型号

MaxCool 4000 H

MaxCool 2500 L

PFC-552 HC

PFC-672 HC

PFC-1102 HC *

最大负载 Watts

4,000

2,500

1,000

1,500

3,600

抽水汽效率 l/s

220,000

140,000

50,000

70,000

200,000

极限真空 mbar

7 x 10-8

1 x 10-9

3x10-9

8x10-9

4x10-8

* Polycold PFC-1102 HC 已经停产, 替代型号 MaxCool 4000 H

Polycold 冷媒: Polycold 冷媒采用新型无毒环保型冷媒, 不易燃, 我司可提供 MSDS 和上门灌装冷媒服务, 原装冷媒采用标准钢瓶包装, 外套纸箱, 部分型号备有现货.
Polycold 原装冷媒型号:

型号

PFC-552 HC 原装冷媒

PFC-672 原装冷媒

PFC-1102 原装冷媒

MaxCool 4000 H

MaxCool 2500 L

数量

1套2瓶

1套2瓶

1套3瓶

1套3瓶

1套3瓶


Edwards 旗下 Polycold  冷冻机 ( 水汽深冷泵 ), 超过40年的冷冻机研发及制造经验. Polycold 冷冻机辅助抽真空, 在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气, 帮助企业显著提升产能和镀膜质量. Polycold 冷冻机广泛加装在光驰 Optorun, 新柯隆 Shincron, 莱宝 Leybold 真空镀膜机. 上海伯东是美国 Polycold 冷冻机代理, 全权负责 Polycold 销售.
扩展阅读:  真空镀膜机加装 Polycold
                   Polycold 冷冻机常见故障
                   Polycold 冷媒


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