普发氦质谱检漏仪

残余气体分析仪 Hicube RGA
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.

残余气体分析仪 Hicube RGA 优势
残余气体分析和氦气泄漏检测模式
可用于从大气压至高真空环境
高分辨率和灵敏度
通过真空压力监测保护灯丝
进气系统带集成式切断阀

Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格

涡轮分子泵组	HiCube™ Eco
功耗	170W
电压（范围）	110 - 240 V; 50 / 60 Hz
氮气抽速	67 l/s
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度	1 m3/h
极限真空	<1X10-7 hPa
真空计	PKR 361
测量范围	1X10-9 至 1X103 hPa
阀门	EVN 116
气体流量	可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s
进气口	DN 16 ISO-KF

 

PrismaPro	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1	QMG 250 M2	QMG 250 M3
检测器	法拉第 Faraday (F)			电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu	1–100	1–200	1–300	1–100	1–200	1–300
四极杆直径／长度	6 /125 mm
最小检测极限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-	-	-
最小检测极限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15	4X10-15	5X10-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4	4X10-4	3X10-4
最大工作压力 F hPa	5X10-4
最大工作压力 M hPa	-	-	-	5X10-5	5X10-5	5X10-5
对临近质量数的影响*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm
操作温度 分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度 电子	5 – 50 °C
烘烤温度 分析	300 °C
连接法兰	DN 40 CF-F
保压时间	1 ms – 16 s/amu
峰比值可重复性	± 0.5 %
接口	以太网
电源电压	100–240 V AC，50/60 Hz
HiCube™ RGA重量	25.5 - 26.2 kg

残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用
残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.

泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.

过程监控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.

质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.

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